تتطلب منتجات أشباه الموصلات بيئة إنتاج نظيفة بشكل استثنائي لضمان صفر تلوث. يتم إجراء التصنيع في غرف نظافة عالية التحكم ، حيث يرتدي العمال ملابس مضادة للثبات لمنع تصريف الجسيمات والإلكتروستاتيكي.
أشباه الموصلات حساسة للغاية-بعض الرقاقات رقيقة للغاية ، حيث تقيس فقط كسور من ملليمتر أو حتى أرق-مما يجعل التعامل اللطيف أمرًا ضروريًا. خلال المعالجة ، يجب أن تفي جميع أدوات المناولة والتركيبات والحاويات التي تتلامس مع مكونات أشباه الموصلات معايير صارمة. يجب أن لا تلوث هذه الأدوات رقائق ويجب أن تصمد أيضًا تحمل التعرض للأحماض والقلويات والمعالجة الحرارية ، مما يضمن المتانة على المدى الطويل.
اختيار المواد:
معظم الأسلحة الآلية أشباه الموصلات مصنوعة من99 ٪ من السيراميك الألومينا.
خصائص السيراميك الألومينا:
السيراميك الألومينا ، الخزفي الهيكلي ، له صلابة في الثانية فقط إلى الماس ويتفوق بشكل كبير على الصلب والكروم الصلب في مقاومة التآكل. إنه يوفر تحمل درجة حرارة عالية (حتى 1600 درجة مئوية) ، ومقاومة تآكل وتآكل ممتازة ، والاحتكاك المنخفض ، وهيكل خفيف الوزن-مما يجعله مثاليًا لتطبيقات أشباه الموصلات.
التسمية والوظيفة:
هذه الأسلحة الآلية الخزفية الألومينا ، المعروفة أيضًا باسمالشوك الخزفيأومؤثرات نهاية نقل الويفر، هي مكونات مثبتة على روبوتات معالجة الرقاقة. إنها تعمل كـ "يدي" للروبوت ، حيث تنقل رقائق السيليكون بشكل آمن إلى مواقع محددة. نظرًا لأنها تتواصل مباشرة مع الرقائق ، فإن طبيعتها الخفيفة يساعد على تقليل الحمل على المعدات الآلية ، وتوسيع عمر الخدمة.
أنواع الأسلحة الآلية الخزفية:
نوع التثبيت
نوع الدعم
نوع شفط الفراغ
نوع برنولي
تحضير المسحوق:يخضع مسحوق الألومينا عالي النقاء إلى تحبيب رش لتشكيل حبيبات كروية.
تشكيل:الحبيبات مضغوطة جافة لإنشاء جسم أخضر ، والذي يتشكل بشكل أكبر باستخدام الضغط المتساوي البارد.
تكثيف:يتم تلبيس الجسم على شكل درجات حرارة عالية ، وإزالة الفراغات بين الجسيمات وتشكيل صلبة خزفية كثيفة.
الطحن ومعالجة السطح:عجلات الطحن الدوارة تزيل أكاسيد السطح والشوائب.
الآلات الدقيقة:طحن السطح الداخلي والخارجي يعمل على تحسين الجزء. الآلات CNC تضمن دقة الأبعاد وسلاسة السطح.
يدمج ذراع السيراميكالقنوات الجوية وأخاديد تنفيس. عند تطبيق الفراغ ، فإنه يخلق شفطًا لقبلة أجزاء أشباه الموصلات بلطف - مما يؤدي إلى تجنب الإجهاد الميكانيكي أو الخدوش أو تقطيع الرقاقات الرقيقة.
مقاومة تآكل متفوقة:تحمل الأسلحة السيراميكية كل من البيئات الحمضية والقلوية أفضل من الأسلحة المعدنية ، مما يوفر عمر خدمة أطول أثناء معالجة أشباه الموصلات.
عدم توطين:لا تتفاعل السيراميك مع مواد أخرى ، ولا تترك أي جزيئات دقيقة ، ولا تحمل أي شحنة ثابتة متبقية ، ولا تطلق أي أيونات معدنية - تظل رقائق مثبتة غير ملوثة.
الحد الأدنى من تشوه الحرارة:أثناء العلاجات الحرارية ، تحافظ أذرع السيراميكية على شكلها بشكل أفضل من المعادن ، مما يقلل من تشوه مكونات أشباه الموصلات الحساسة.
ما وراء الأسلحة الآلية معالجة الويفر ، خصائص السيراميك-العزل ، مقاومة درجات الحرارة العالية ، مقاومة الحمض والقلوية ، والاستقرار الكيميائي- اجعلها مثالية لتصنيع المكونات الهامة الأخرى المستخدمة في البيئات القاسية. يمكن استخدامها في المواقف التي تفشل فيها المعادن والبلاستيك ، مما يضمن الأداء والنظافة في عمليات أشباه الموصلات المتطلبة.
تتطلب منتجات أشباه الموصلات بيئة إنتاج نظيفة بشكل استثنائي لضمان صفر تلوث. يتم إجراء التصنيع في غرف نظافة عالية التحكم ، حيث يرتدي العمال ملابس مضادة للثبات لمنع تصريف الجسيمات والإلكتروستاتيكي.
أشباه الموصلات حساسة للغاية-بعض الرقاقات رقيقة للغاية ، حيث تقيس فقط كسور من ملليمتر أو حتى أرق-مما يجعل التعامل اللطيف أمرًا ضروريًا. خلال المعالجة ، يجب أن تفي جميع أدوات المناولة والتركيبات والحاويات التي تتلامس مع مكونات أشباه الموصلات معايير صارمة. يجب أن لا تلوث هذه الأدوات رقائق ويجب أن تصمد أيضًا تحمل التعرض للأحماض والقلويات والمعالجة الحرارية ، مما يضمن المتانة على المدى الطويل.
اختيار المواد:
معظم الأسلحة الآلية أشباه الموصلات مصنوعة من99 ٪ من السيراميك الألومينا.
خصائص السيراميك الألومينا:
السيراميك الألومينا ، الخزفي الهيكلي ، له صلابة في الثانية فقط إلى الماس ويتفوق بشكل كبير على الصلب والكروم الصلب في مقاومة التآكل. إنه يوفر تحمل درجة حرارة عالية (حتى 1600 درجة مئوية) ، ومقاومة تآكل وتآكل ممتازة ، والاحتكاك المنخفض ، وهيكل خفيف الوزن-مما يجعله مثاليًا لتطبيقات أشباه الموصلات.
التسمية والوظيفة:
هذه الأسلحة الآلية الخزفية الألومينا ، المعروفة أيضًا باسمالشوك الخزفيأومؤثرات نهاية نقل الويفر، هي مكونات مثبتة على روبوتات معالجة الرقاقة. إنها تعمل كـ "يدي" للروبوت ، حيث تنقل رقائق السيليكون بشكل آمن إلى مواقع محددة. نظرًا لأنها تتواصل مباشرة مع الرقائق ، فإن طبيعتها الخفيفة يساعد على تقليل الحمل على المعدات الآلية ، وتوسيع عمر الخدمة.
أنواع الأسلحة الآلية الخزفية:
نوع التثبيت
نوع الدعم
نوع شفط الفراغ
نوع برنولي
تحضير المسحوق:يخضع مسحوق الألومينا عالي النقاء إلى تحبيب رش لتشكيل حبيبات كروية.
تشكيل:الحبيبات مضغوطة جافة لإنشاء جسم أخضر ، والذي يتشكل بشكل أكبر باستخدام الضغط المتساوي البارد.
تكثيف:يتم تلبيس الجسم على شكل درجات حرارة عالية ، وإزالة الفراغات بين الجسيمات وتشكيل صلبة خزفية كثيفة.
الطحن ومعالجة السطح:عجلات الطحن الدوارة تزيل أكاسيد السطح والشوائب.
الآلات الدقيقة:طحن السطح الداخلي والخارجي يعمل على تحسين الجزء. الآلات CNC تضمن دقة الأبعاد وسلاسة السطح.
يدمج ذراع السيراميكالقنوات الجوية وأخاديد تنفيس. عند تطبيق الفراغ ، فإنه يخلق شفطًا لقبلة أجزاء أشباه الموصلات بلطف - مما يؤدي إلى تجنب الإجهاد الميكانيكي أو الخدوش أو تقطيع الرقاقات الرقيقة.
مقاومة تآكل متفوقة:تحمل الأسلحة السيراميكية كل من البيئات الحمضية والقلوية أفضل من الأسلحة المعدنية ، مما يوفر عمر خدمة أطول أثناء معالجة أشباه الموصلات.
عدم توطين:لا تتفاعل السيراميك مع مواد أخرى ، ولا تترك أي جزيئات دقيقة ، ولا تحمل أي شحنة ثابتة متبقية ، ولا تطلق أي أيونات معدنية - تظل رقائق مثبتة غير ملوثة.
الحد الأدنى من تشوه الحرارة:أثناء العلاجات الحرارية ، تحافظ أذرع السيراميكية على شكلها بشكل أفضل من المعادن ، مما يقلل من تشوه مكونات أشباه الموصلات الحساسة.
ما وراء الأسلحة الآلية معالجة الويفر ، خصائص السيراميك-العزل ، مقاومة درجات الحرارة العالية ، مقاومة الحمض والقلوية ، والاستقرار الكيميائي- اجعلها مثالية لتصنيع المكونات الهامة الأخرى المستخدمة في البيئات القاسية. يمكن استخدامها في المواقف التي تفشل فيها المعادن والبلاستيك ، مما يضمن الأداء والنظافة في عمليات أشباه الموصلات المتطلبة.
