الرواسب شبه العازلة لـ SiC لديها عادة مقاومة أعلى من1×107 Ω·cmوتستخدم على نطاق واسع فيمكبرات الطاقة 5G RF، وأجهزة التردد العالي، ومكونات محطة القاعدةعلى عكس الركائز الموصلة لـ SiC ، تظهر الركائز شبه العازلة استجابات مختلفة للتداخل الكهرومغناطيسي (EMI) والتراكم الكهرومغناطيسي بسبب مقاومتها الكهربائية العالية.
ولذلك غرفة نظيفة مصممة لتصنيع نصف عازل SiC الركيزة تتطلب ليس فقط مكافحة التلوث التقليدية ولكن أيضا إضافيةتدابير الحماية الكهرومغناطيسيةلضمان استقرار العملية ومخرجات الجهاز.
الرواسب شبه العازلة لـ SiC تحقق مقاومة عالية من خلالتعويض الفاناديومأوآليات تعويض العيوب الجوهريةتركيز وتوزيع الشوائب العميقة والعيوب البلورية تؤثر بشكل مباشر على توحيد المقاومة عبر الركيزة.
أثناء المعالجة والتفتيش ، يتم تعريض الركائز إلى الحقول الكهرومغناطيسية الناتجة عن البيئة المحيطة بها.هذه الحقول الكهرومغناطيسية الخارجية يمكن أن تحفز إعادة توزيع الشحنة داخل الركيزة SiC شبه العازلة.
مصادر كهرومغناطيسية محتملة داخل غرفة نظيفة تشمل:
هذه المصادر تولد حقول كهرومغناطيسية تتراوحمجالات تردد الطاقة 50 هرتز إلى إشارات RF على مستوى GHz.
عند تعرضها للحقول الكهرومغناطيسية المتغيرة ، يمكن للشحنات المحفزة وتأثيرات التيار المحلي تعديل الإمكانات الكهربائية السطحية للجزء الرئيسي.
قد تؤثر التغيرات في إمكانات سطح الروك على عمليات أشباه الموصلات في الأسفل:
لا تتطلب غرفة نظيفة من الركائز SiC شبه العازلة حماية كهرومغناطيسية في جميع أنحاء المنشأة. يجب تحديد متطلبات الحماية وفقًا لما يلي:
عندما تبقى الركائز الداخلية داخل حاملات رقائق مغلقة ، توفر حاملاتها نفسها مستوى معين من الحماية الكهرومغناطيسية.
يمكن أن تستخدم حاملات الصفائح:
يجب أن يكون غطاء الناقل أيضًا متأرجحًا كهربائيًا.
ومع ذلك ، بمجرد إزالة الركائز من الناقلات وتعريضها مباشرة لبيئة الغرفة النظيفة ، يجب توفير الحماية الكهرومغناطيسية من قبل هيكل الحماية في الغرفة النظيفة.
المناطق التالية تتطلب الحماية الكهرومغناطيسية ذات الأولوية
بعد طلاء المقاومة للضوء ، يصبح سطح الركيزة حساسًا للغاية لتغيرات الإمكانات الكهربائية. يساعد الدرع الكهرومغناطيسي على الحفاظ على توحيد الطلاء ودقة التصوير الحجري.
التحكم في إمكانات السطح مهم للحفاظ على سلوك السماد المستقر ومستوى التلميع.
أجهزة فحص أشعة الإلكترونات وأشعة الأيونات حساسة للغاية للتداخلات الكهرومغناطيسية. يوصى بحماية الحماية المستقلة.
بالمقارنةأماكن تخزين الأساس وممرات النقل فهي عادة ما تكون متطلبات الحماية أقل لأن الأساسات تبقى داخل ناقلات محمية كهرومغناطيسياً أثناء النقل والتخزين.
عادة ما تستخدم هياكل الدرع الكهرومغناطيسية في الغرف النظيفة:
تثبيت داخل الجدران والسقوف والأرضيات.
وتشمل مواد الحماية الشائعة:
يتم تحديد سمك المواد الحماية وبنية وفقا لفعالية الحماية المطلوبة.
يجب تحديد أداء الدرع وفقًا لمجموعات ترددات مختلفة:
| نطاق التردد | فعالية حماية الهدف |
|---|---|
| الحقل المغناطيسي ذو التردد القوي | ≥20 ديسيبل |
| المجال الكهربائي للأوتار الراديوية (1 ميغاهرتز) 1 غيغاهرتز | ≥40 ديسيبل |
| تردد الميكروويف (> 1 غيغاهرتز) | ≥30 ديسيبل |
يتم تحديد القيم المستهدفة على أساس ما إذا كان التعرض الكهرومغناطيسي في ترددات محددة يمكن أن يولد شحنة محفزة كافية للتأثير على عائد العملية.
يجب أن يحافظ هيكل الدرع على التوصيل الكهربائي المستمر.
تتضمن المتطلبات:
يجب أن تعتمد طبقة الحمايةالترسيم في نقطة واحدة.
الظروف الموصى بها للأرض:
يمكن أن تخلق نقاط الترسانة المتعددة حلقات الترسانة. يمكن أن تولد التيارات المحفزة داخل حلقات الترسانة حقول مغناطيسية ثانوية ، مما يقلل من فعالية الدرع العامة.
المعدات الكهربائية داخل الغرف النظيفة هي مصدر رئيسي للتداخل الكهرومغناطيسي.
المصادر المحتملة لـ EMI تشمل:
يجب أن تخضع المعدات المثبتة داخل المناطق المحمية لتقييم الانبعاثات الكهرومغناطيسية.
اختيار المعدات الموصى بها:
الاستخداممحركات DC بدون فرشاةبدلا من محركات التيار المتردد لتقليل الانبعاثات الكهرومغناطيسية.
استخدم أيونيزات ثابتة DC بدلاً من أيونيزات AC النبضية ، والتي قد تولد ضوضاء كهرومغناطيسية عالية التردد.
استخدم إضاءة LED مع محركات التيار المباشر لتقليل الحقول المغناطيسية ذات التردد الكهربائي التي تولدها المصابيح الفلورسنتية.
يجب أن تكون أغطية المعدات المعدنية أرضية.
الترسيم الصحيح:
إدارة الكابلات الموصى بها:
التراكم الكهربائي الستاتي على الركائز SiC شبه العازلة يرتبط ارتباطًا وثيقًا بالدرع الكهرومغناطيسي.
يمكن أن تولد الشحنات الكهرومغناطيسية السطحية حقول كهربائية محلية. عند الجمع مع الحقول الكهرومغناطيسية الخارجية ، قد تزيد هذه التأثيرات من عدم توحيد إمكانات السطح.
يجب تصميم أجهزة التأين داخل المناطق المحمية مع نظام الأرض المحمي.
يخلق الميسورات أزواجًا من الأيونات التي تحيد الشحنات السطحية. خلال هذه العملية، قد تخلق حركة الأيونات نحو الهيكل الدرعي تيارات صغيرة.
على الرغم من أن هذه التيارات لا تنتج عادة انخفاضات في الجهد القابلة للقياس في نظام الترسيم ، يجب أن يضمن وضع جهاز التأين:
يجب أن تتشارك أنظمة الأرضية التالية في شبكة أرضية مشتركة:
يمكن أن تولد الاختلافات المحتملة بين أنظمة الترس المستقلة تيارات الأرض. قد تخلق هذه التيارات حقول مغناطيسية داخل هيكل الدرع وتقلل من أداء الدرع.
بعد التثبيت، يجب أن يخضع نظام الحماية لاختبار فعالية الحماية الكهرومغناطيسية.
يجب أن تشمل نطاق تردد الاختبار:
يجب أن تشمل نقاط القياس:
وفقًا لمعايير اختبار فعالية الدرع:
تنخفض فعالية الحماية مع مرور الوقت بسبب:
يجب تحديد دورة إعادة الاختبار وفقًا:
التكرار النموذجي:
مرة كل 12 سنة
| منطقة العملية | مستوى النظافة | متطلبات الحماية | فعالية حماية الهدف |
|---|---|---|---|
| مساحة تخزين القالب | إيزو 5 | الحماية المحمولة للوافير فقط | |
| منطقة التصوير الضوئي | إيزو 5 | طبقة الحماية على مستوى المبنى | تردد الطاقة ≥20 ديسيبل، RF ≥40 ديسيبل |
| منطقة CMP | إيزو 5 | طبقة الحماية على مستوى المبنى | تردد الطاقة ≥20 ديسيبل، RF ≥40 ديسيبل |
| منطقة التفتيش | الـ ISO 4?? 5 | طبقة الحماية على مستوى المبنى | تردد الطاقة ≥20 ديسيبل، RF ≥40 ديسيبل، الميكروويف ≥30 ديسيبل |
| ممر النقل | إيزو 5 | الحماية المحمولة للوافير | |
إن المقاومة العالية لتراتيب SiC شبه العازلة تجعلها أكثر حساسية للتداخل الكهرومغناطيسي والتراكم الكهرومغناطيسي في بيئات الغرف النظيفة.
يمكن أن تؤثر الاختلافات في إمكانات سطح الركيزة على:
ولذلك، يجب تحديد متطلبات الحماية الكهرومغناطيسية وفقا لحساسية العملية.
مجالات حرجة مثل:
يجب أن تتضمن هياكل الحماية الكهرومغناطيسية على مستوى المبنى.
يجب تحديد أهداف فعالية الحماية بشكل منفصل لمجموعات تردد الطاقة والإتش دي والموجات الدقيقة.يجب على هيكل الحماية الحفاظ على الاستمرارية الكهربائية واعتماد نقطة واحدة للأرض.
يجب السيطرة على مصادر التلوث الكهرومغناطيسي الداخلية من خلال اختيار المعدات وتصميم الأرض وإدارة حماية الكابلات.
يجب تصميم الحماية الكهرومغناطيسية والحماية الكهرومغناطيسية كنظام متكامل مع شبكة أرضية موحدة.يجب التحقق من فعالية الحماية وإعادة اختبارها بشكل دوري لضمان استقرار العملية على المدى الطويل وأداء عائد أشباه الموصلات.
الرواسب شبه العازلة لـ SiC لديها عادة مقاومة أعلى من1×107 Ω·cmوتستخدم على نطاق واسع فيمكبرات الطاقة 5G RF، وأجهزة التردد العالي، ومكونات محطة القاعدةعلى عكس الركائز الموصلة لـ SiC ، تظهر الركائز شبه العازلة استجابات مختلفة للتداخل الكهرومغناطيسي (EMI) والتراكم الكهرومغناطيسي بسبب مقاومتها الكهربائية العالية.
ولذلك غرفة نظيفة مصممة لتصنيع نصف عازل SiC الركيزة تتطلب ليس فقط مكافحة التلوث التقليدية ولكن أيضا إضافيةتدابير الحماية الكهرومغناطيسيةلضمان استقرار العملية ومخرجات الجهاز.
الرواسب شبه العازلة لـ SiC تحقق مقاومة عالية من خلالتعويض الفاناديومأوآليات تعويض العيوب الجوهريةتركيز وتوزيع الشوائب العميقة والعيوب البلورية تؤثر بشكل مباشر على توحيد المقاومة عبر الركيزة.
أثناء المعالجة والتفتيش ، يتم تعريض الركائز إلى الحقول الكهرومغناطيسية الناتجة عن البيئة المحيطة بها.هذه الحقول الكهرومغناطيسية الخارجية يمكن أن تحفز إعادة توزيع الشحنة داخل الركيزة SiC شبه العازلة.
مصادر كهرومغناطيسية محتملة داخل غرفة نظيفة تشمل:
هذه المصادر تولد حقول كهرومغناطيسية تتراوحمجالات تردد الطاقة 50 هرتز إلى إشارات RF على مستوى GHz.
عند تعرضها للحقول الكهرومغناطيسية المتغيرة ، يمكن للشحنات المحفزة وتأثيرات التيار المحلي تعديل الإمكانات الكهربائية السطحية للجزء الرئيسي.
قد تؤثر التغيرات في إمكانات سطح الروك على عمليات أشباه الموصلات في الأسفل:
لا تتطلب غرفة نظيفة من الركائز SiC شبه العازلة حماية كهرومغناطيسية في جميع أنحاء المنشأة. يجب تحديد متطلبات الحماية وفقًا لما يلي:
عندما تبقى الركائز الداخلية داخل حاملات رقائق مغلقة ، توفر حاملاتها نفسها مستوى معين من الحماية الكهرومغناطيسية.
يمكن أن تستخدم حاملات الصفائح:
يجب أن يكون غطاء الناقل أيضًا متأرجحًا كهربائيًا.
ومع ذلك ، بمجرد إزالة الركائز من الناقلات وتعريضها مباشرة لبيئة الغرفة النظيفة ، يجب توفير الحماية الكهرومغناطيسية من قبل هيكل الحماية في الغرفة النظيفة.
المناطق التالية تتطلب الحماية الكهرومغناطيسية ذات الأولوية
بعد طلاء المقاومة للضوء ، يصبح سطح الركيزة حساسًا للغاية لتغيرات الإمكانات الكهربائية. يساعد الدرع الكهرومغناطيسي على الحفاظ على توحيد الطلاء ودقة التصوير الحجري.
التحكم في إمكانات السطح مهم للحفاظ على سلوك السماد المستقر ومستوى التلميع.
أجهزة فحص أشعة الإلكترونات وأشعة الأيونات حساسة للغاية للتداخلات الكهرومغناطيسية. يوصى بحماية الحماية المستقلة.
بالمقارنةأماكن تخزين الأساس وممرات النقل فهي عادة ما تكون متطلبات الحماية أقل لأن الأساسات تبقى داخل ناقلات محمية كهرومغناطيسياً أثناء النقل والتخزين.
عادة ما تستخدم هياكل الدرع الكهرومغناطيسية في الغرف النظيفة:
تثبيت داخل الجدران والسقوف والأرضيات.
وتشمل مواد الحماية الشائعة:
يتم تحديد سمك المواد الحماية وبنية وفقا لفعالية الحماية المطلوبة.
يجب تحديد أداء الدرع وفقًا لمجموعات ترددات مختلفة:
| نطاق التردد | فعالية حماية الهدف |
|---|---|
| الحقل المغناطيسي ذو التردد القوي | ≥20 ديسيبل |
| المجال الكهربائي للأوتار الراديوية (1 ميغاهرتز) 1 غيغاهرتز | ≥40 ديسيبل |
| تردد الميكروويف (> 1 غيغاهرتز) | ≥30 ديسيبل |
يتم تحديد القيم المستهدفة على أساس ما إذا كان التعرض الكهرومغناطيسي في ترددات محددة يمكن أن يولد شحنة محفزة كافية للتأثير على عائد العملية.
يجب أن يحافظ هيكل الدرع على التوصيل الكهربائي المستمر.
تتضمن المتطلبات:
يجب أن تعتمد طبقة الحمايةالترسيم في نقطة واحدة.
الظروف الموصى بها للأرض:
يمكن أن تخلق نقاط الترسانة المتعددة حلقات الترسانة. يمكن أن تولد التيارات المحفزة داخل حلقات الترسانة حقول مغناطيسية ثانوية ، مما يقلل من فعالية الدرع العامة.
المعدات الكهربائية داخل الغرف النظيفة هي مصدر رئيسي للتداخل الكهرومغناطيسي.
المصادر المحتملة لـ EMI تشمل:
يجب أن تخضع المعدات المثبتة داخل المناطق المحمية لتقييم الانبعاثات الكهرومغناطيسية.
اختيار المعدات الموصى بها:
الاستخداممحركات DC بدون فرشاةبدلا من محركات التيار المتردد لتقليل الانبعاثات الكهرومغناطيسية.
استخدم أيونيزات ثابتة DC بدلاً من أيونيزات AC النبضية ، والتي قد تولد ضوضاء كهرومغناطيسية عالية التردد.
استخدم إضاءة LED مع محركات التيار المباشر لتقليل الحقول المغناطيسية ذات التردد الكهربائي التي تولدها المصابيح الفلورسنتية.
يجب أن تكون أغطية المعدات المعدنية أرضية.
الترسيم الصحيح:
إدارة الكابلات الموصى بها:
التراكم الكهربائي الستاتي على الركائز SiC شبه العازلة يرتبط ارتباطًا وثيقًا بالدرع الكهرومغناطيسي.
يمكن أن تولد الشحنات الكهرومغناطيسية السطحية حقول كهربائية محلية. عند الجمع مع الحقول الكهرومغناطيسية الخارجية ، قد تزيد هذه التأثيرات من عدم توحيد إمكانات السطح.
يجب تصميم أجهزة التأين داخل المناطق المحمية مع نظام الأرض المحمي.
يخلق الميسورات أزواجًا من الأيونات التي تحيد الشحنات السطحية. خلال هذه العملية، قد تخلق حركة الأيونات نحو الهيكل الدرعي تيارات صغيرة.
على الرغم من أن هذه التيارات لا تنتج عادة انخفاضات في الجهد القابلة للقياس في نظام الترسيم ، يجب أن يضمن وضع جهاز التأين:
يجب أن تتشارك أنظمة الأرضية التالية في شبكة أرضية مشتركة:
يمكن أن تولد الاختلافات المحتملة بين أنظمة الترس المستقلة تيارات الأرض. قد تخلق هذه التيارات حقول مغناطيسية داخل هيكل الدرع وتقلل من أداء الدرع.
بعد التثبيت، يجب أن يخضع نظام الحماية لاختبار فعالية الحماية الكهرومغناطيسية.
يجب أن تشمل نطاق تردد الاختبار:
يجب أن تشمل نقاط القياس:
وفقًا لمعايير اختبار فعالية الدرع:
تنخفض فعالية الحماية مع مرور الوقت بسبب:
يجب تحديد دورة إعادة الاختبار وفقًا:
التكرار النموذجي:
مرة كل 12 سنة
| منطقة العملية | مستوى النظافة | متطلبات الحماية | فعالية حماية الهدف |
|---|---|---|---|
| مساحة تخزين القالب | إيزو 5 | الحماية المحمولة للوافير فقط | |
| منطقة التصوير الضوئي | إيزو 5 | طبقة الحماية على مستوى المبنى | تردد الطاقة ≥20 ديسيبل، RF ≥40 ديسيبل |
| منطقة CMP | إيزو 5 | طبقة الحماية على مستوى المبنى | تردد الطاقة ≥20 ديسيبل، RF ≥40 ديسيبل |
| منطقة التفتيش | الـ ISO 4?? 5 | طبقة الحماية على مستوى المبنى | تردد الطاقة ≥20 ديسيبل، RF ≥40 ديسيبل، الميكروويف ≥30 ديسيبل |
| ممر النقل | إيزو 5 | الحماية المحمولة للوافير | |
إن المقاومة العالية لتراتيب SiC شبه العازلة تجعلها أكثر حساسية للتداخل الكهرومغناطيسي والتراكم الكهرومغناطيسي في بيئات الغرف النظيفة.
يمكن أن تؤثر الاختلافات في إمكانات سطح الركيزة على:
ولذلك، يجب تحديد متطلبات الحماية الكهرومغناطيسية وفقا لحساسية العملية.
مجالات حرجة مثل:
يجب أن تتضمن هياكل الحماية الكهرومغناطيسية على مستوى المبنى.
يجب تحديد أهداف فعالية الحماية بشكل منفصل لمجموعات تردد الطاقة والإتش دي والموجات الدقيقة.يجب على هيكل الحماية الحفاظ على الاستمرارية الكهربائية واعتماد نقطة واحدة للأرض.
يجب السيطرة على مصادر التلوث الكهرومغناطيسي الداخلية من خلال اختيار المعدات وتصميم الأرض وإدارة حماية الكابلات.
يجب تصميم الحماية الكهرومغناطيسية والحماية الكهرومغناطيسية كنظام متكامل مع شبكة أرضية موحدة.يجب التحقق من فعالية الحماية وإعادة اختبارها بشكل دوري لضمان استقرار العملية على المدى الطويل وأداء عائد أشباه الموصلات.
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
हिन्दी
Türkçe
indonesia
tiếng Việt
ไทย
বাংলা
فارسی
polski