|
معلومات تفصيلية |
|||
| Diameter (inch): | 3/4/6/8/12 | Internal Transmittance: | >99.9% |
|---|---|---|---|
| Refractive Index: | 1.474698 | Total Transmittance: | >92% |
| TTV: | <3 | Flatness: | <15 |
منتوج وصف
مقدمة عن رقائق الكوارتز
تصنع رقائق الكوارتز من ثاني أكسيد السيليكون البلوري (SiO₂). الخصائص الفريدة للكوارتز تجعله مادة أساسية في مختلف الصناعات عالية التقنية.
تتميز رقائق الكوارتز بخصائص ممتازة مثل المقاومة الحرارية العالية، ونقل الضوء الفائق عند أطوال موجية معينة، والخمول الكيميائي، ومعامل التمدد الحراري المنخفض. هذه الميزات تجعلها مناسبة جدًا للتطبيقات التي تتطلب الاستقرار في درجات الحرارة القصوى، ومقاومة المواد الكيميائية القاسية، والشفافية في نطاقات طيفية معينة.
في صناعات مثل تصنيع أشباه الموصلات، والبصريات، وأنظمة MEMS (الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة)، تُستخدم رقائق الكوارتز على نطاق واسع نظرًا لقدرتها على تحمل درجات الحرارة المرتفعة دون تشوه أو تدهور. إنها بمثابة ركائز لترسيب الأغشية الرقيقة، أو النقش الدقيق للهياكل، أو تصنيع المكونات الدقيقة التي تتطلب دقة أبعاد عالية واستقرارًا حراريًا.
مبدأ التصنيعلرقائق الكوارتز
-
نمو البلورات
تُزرع كتل الكوارتز باستخدام بلورات بذور طبيعية أو اصطناعية من خلال طرق التحلل الحراري المائي أو الانصهار باللهب (فيرنويل). -
تقطيع السبيكة
تُقطع السبائك الأسطوانية إلى رقائق باستخدام مناشير أسلاك الماس، مما يضمن توحيد السُمك وتقليل الفقد. -
التنعيم والتلميع
يتم تنعيم الرقائق وحفرها ثم تلميعها لتحقيق تشطيب أملس كمرآة مع خشونة سطح منخفضة (Ra < 1 نانومتر لرقائق الدرجة البصرية). -
التنظيف والفحص
يزيل التنظيف بالموجات فوق الصوتية أو RCA الجسيمات والملوثات المعدنية. تخضع كل رقاقة لفحص الأبعاد وتسوية السطح.
مواصفات رقائق الكوارتز
| نوع الكوارتز | 4 | 6 | 8 | 12 |
|---|---|---|---|---|
| الحجم | ||||
| القطر (بوصة) | 4 | 6 | 8 | 12 |
| السُمك (مم) | 0.05–2 | 0.25–5 | 0.3–5 | 0.4–5 |
| تفاوت القطر (بوصة) | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
| تفاوت السُمك (مم) | قابل للتخصيص | قابل للتخصيص | قابل للتخصيص | قابل للتخصيص |
| الخصائص البصرية | ||||
| معامل الانكسار @365 نانومتر | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 |
| معامل الانكسار @546.1 نانومتر | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 |
| معامل الانكسار @1014 نانومتر | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 |
| النفاذية الداخلية (1250–1650 نانومتر) | >99.9% | >99.9% | >99.9% | >99.9% |
| إجمالي النفاذية (1250–1650 نانومتر) | >92% | >92% | >92% | >92% |
| جودة التشغيل | ||||
| TTV (إجمالي اختلاف السُمك، ميكرومتر) | <3 | <3 | <3 | <3 |
| التسطيح (ميكرومتر) | ≤15 | ≤15 | ≤15 | ≤15 |
| خشونة السطح (نانومتر) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| التقوس (ميكرومتر) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| الخصائص الفيزيائية | ||||
| الكثافة (جم/سم³) | 2.20 | 2.20 | 2.20 | 2.20 |
| معامل يونغ (جيجا باسكال) | 74.20 | 74.20 | 74.20 | 74.20 |
| صلابة موس | 6–7 | 6–7 | 6–7 | 6–7 |
| معامل القص (جيجا باسكال) | 31.22 | 31.22 | 31.22 | 31.22 |
| نسبة بواسون | 0.17 | 0.17 | 0.17 | 0.17 |
| قوة الانضغاط (جيجا باسكال) | 1.13 | 1.13 | 1.13 | 1.13 |
| قوة الشد (ميجا باسكال) | 49 | 49 | 49 | 49 |
| ثابت العزل (1 ميجاهرتز) | 3.75 | 3.75 | 3.75 | 3.75 |
| الخصائص الحرارية | ||||
| نقطة الإجهاد (10¹⁴.⁵ باسكال·ثانية) | 1000 درجة مئوية | 1000 درجة مئوية | 1000 درجة مئوية | 1000 درجة مئوية |
| نقطة التلدين (10¹³ باسكال·ثانية) | 1160 درجة مئوية | 1160 درجة مئوية | 1160 درجة مئوية | 1160 درجة مئوية |
| نقطة التليين (10⁷.⁶ باسكال·ثانية) | 1620 درجة مئوية | 1620 درجة مئوية | 1620 درجة مئوية | 1620 درجة مئوية |
