قصيرة: شاهد هذه النظرة العامة لتكتشف لماذا يهتم العديد من المتخصصين بصينية كربيد السيليكون عالي النقاء CVD/SSiC لمعالجة رقائق أشباه الموصلات. تعرف على قوتها الميكانيكية الاستثنائية، وثباتها الحراري، ودقتها الأبعاد، المصممة للتطبيقات الصناعية الصعبة.
خصائص المنتج ذات الصلة:
صُممت بفتحات حلقية متعددة المناطق لتقليل الوزن وتحسين تدفق الحرارة.
تتميز بشبكة أضلاع شعاعية مُعززة لتعزيز القوة الميكانيكية والاستقرار الدوراني.
صينية سيراميك SiC هي حامل دقيق مصنوع من كربيد السيليكون عالي النقاء، مصمم لدعم وتحميل ونقل الرقائق أو الركائز أثناء تصنيع أشباه الموصلات، ومصابيح LED، والبصريات، وعمليات التفريغ. يوفر ثباتًا حراريًا استثنائيًا، وقوة ميكانيكية، ومقاومة للتشوه في البيئات القاسية.
ما هي مزايا استخدام صواني SiC مقارنة بصواني الكوارتز أو الجرافيت أو الألومنيوم؟
توفر صواني SiC فوائد أداء فائقة بما في ذلك مقاومة درجات الحرارة العالية التي تصل إلى 1600-1800 درجة مئوية، والتوصيل الحراري الممتاز، والقوة الميكانيكية المتميزة، والتمدد الحراري المنخفض، ومقاومة التآكل العالية، وعمر خدمة أطول في ظل ظروف التصنيع المستمرة ذات الإجهاد العالي.
ما هي التطبيقات التي تُستخدم فيها صواني السيراميك SiC بشكل رئيسي؟
تُستخدم صواني SiC على نطاق واسع في مناولة رقائق أشباه الموصلات، وعمليات LPCVD و PECVD و MOCVD الحرارية، والصلب، والانتشار، والأكسدة، وعمليات النمو البلوري، وتحميل رقائق الياقوت/الركائز البصرية، والبيئات عالية التفريغ ودرجة الحرارة المرتفعة، ومنصات تثبيت CMP أو التلميع الدقيقة.