أفران سي سي PVT Lely TSSG & LPE أنظمة نمو الكريستال لإنتاج كاربيد السيليكون

فرن SiC: PVT ، Lely ، TSSG و LPE أنظمة نمو الكريستال لإنتاج كربيد السيليكون عالي الجودة

خلاصة فرن نمو كريستال كاربيد السيليكون

نحن نقدم مجموعة كاملة منأفران نمو الكريستال من كاربيد السيليكون (SiC)بما في ذلكPVT (نقل البخار الفيزيائي),ليلي (أسلوب الحث)، وTSSG/LPE (نمو المرحلة السائلة)التكنولوجيات

بلديأفران PVTتوفير بلورات SiC عالية الجودة مع التحكم الدقيق في درجة الحرارة، مثالية للشاشات.أفران ليلياستخدام التسخين بالاندفاع الكهرومغناطيسي لنمو بلورات SiC ذات الحجم الكبير مع توحيد ممتاز وأقل عيوب.أفران TSSG/LPEمتخصصون في إنتاج بلورات SiC النقية للغاية والطبقات البيتاكسيالية لأجهزة الطاقة المتقدمة والأجهزة الإلكترونية.

مدعومة بأتمتة متقدمة وأنظمة دقة وتصاميم قوية، تلبي أفراننا الاحتياجات الصناعية والبحثية المتنوعة.حلول عالية الأداء لنمو بلورات SiC لدعم التطبيقات المتطورة في تصنيع المواد عالية التقنية.

خصائص فرن نمو كريستال كاربيد السيليكون

1طريقة PVT (نقل البخار الفيزيائي)

• المبدأ: يستخدم التسخين المقاوم لتحسين مادة SiC المصدر ، والتي تتكثف بعد ذلك على بلور البذور لتشكيل بلورات SiC.

• التطبيق: أساساً لإنتاج بلورات سي سي واحدة ذات مستوى نصف موصل.

• المزايا:
  • إنتاج فعال من حيث التكلفة.
  • مناسبة للنمو الكريستالي المتوسط

• الخصائص الرئيسية:
  • تستخدم مكونات جرافيت عالية النقاء مثل الهيكل والحاملات
  • التحكم المتقدم في درجة الحرارة عن طريق المزدوج الحراري وأجهزة استشعار بالأشعة تحت الحمراء.
  • أنظمة تدفق الفراغ والغازات الخاملة تضمن جوًا منظمًا.
  • أنظمة التحكم الآلي PLC تعزز الدقة والتكرار.
  • أنظمة التبريد المتكاملة ومعالجة غازات النفايات تحافظ على استقرار العملية.

2طريقة ليلي (التسخين عن طريق الحث)

• المبدأ: يستخدم التحفيز الكهرومغناطيسي عالي التردد لتحمية الصهريج وتحفيز مسحوق SiC لنمو البلورات.

• التطبيق: مثالية لنمو بلورات SiC ذات الحجم الكبير بسبب توحيد درجة الحرارة العالية.

• المزايا:
  • كفاءة حرارية عالية وتسخين موحد
  • يقلل من عيوب البلورات أثناء النمو

• الخصائص الرئيسية:
  • مجهزة بملفات الحث النحاسي والخلاطات المغطاة بـ SiC
  • يحتوي على غرف فراغ عالية درجة الحرارة للعمل المستقر.
  • التحكم الدقيق في درجة الحرارة وتدفق الغاز
  • PLC وأنظمة المراقبة عن بعد لتحسين الأتمتة.
  • أنظمة التبريد والتصريف الفعالة من أجل السلامة والموثوقية.

3طريقة TSSG/LPE (نمو المرحلة السائلة)

• المبدأ: يذوب SiC في معدن ذوبان عالي درجة الحرارة ويزرع البلورات عن طريق التبريد المسيطر عليه (TSSG) أو يودع طبقات SiC على الركيزة (LPE).

• التطبيق: تنتج بلورات SiC عالية النقاء جداً والطبقات الشوكية للطاقة والإلكترونيات الضوئية.

• المزايا:
  • كثافة العيوب المنخفضة ونمو البلورات عالية الجودة.
  • مناسبة لكل من بلورات الكتلة وترسبات الأفلام الرقيقة

• الخصائص الرئيسية:
  • يستخدم صهاريج متوافقة مع SiC (مثل الجرافيت أو التنتالوم).
  • تقدم أنظمة تدفئة دقيقة لدرجات حرارة تصل إلى 2100 درجة مئوية.
  • آليات تدوير / وضع خاضعة لسيطرة عالية للنمو المتساوي.
  • التحكم الآلي في العملية وأنظمة التبريد الفعالة.
  • قابلة للتكيف مع تطبيقات مختلفة، بما في ذلك الإلكترونيات عالية الطاقة.

الصور من فرن نمو كريستال الكربيد السيليكوني

خدمتنا

1. الحلول المخصصة من نقطة واحدة
   نحن نقدم حلول مخصصة لفرن الكربيد السيليكوني (SiC) ، بما في ذلك تقنيات PVT و Lely و TSSG / LPE ، مصممة لتلبية احتياجاتك المحددة. من التصميم إلى التحسين،نحن نضمن أن أنظمتنا تتوافق مع أهداف الإنتاج الخاصة بك.
    

2. تدريب العملاء
   نحن نقدم تدريبات شاملة لضمان أن فريقك يفهم تماما كيفية تشغيل وصيانة أفراننا. تدريباتنا تغطي كل شيء من العمليات الأساسية إلى حل المشاكل المتقدمة.
    

3. التثبيت في الموقع والتشغيل
   فريقنا يقوم شخصياً بتثبيت وتشغيل أفران سي سي في موقعك. نحن نضمن الإعداد السلس ونقوم بعملية التحقق الشامل لضمان تشغيل النظام بالكامل.
    

4. دعم ما بعد البيع
   نحن نقدم خدمة سريعة بعد البيع. فريقنا مستعد للمساعدة في الإصلاحات في الموقع وإصلاح الأخطاء لتقليل وقت التوقف والحفاظ على تشغيل معداتك بسلاسة.
    

نحن ملتزمون بتقديم أفران عالية الجودة والدعم المستمر لضمان نجاحك في نمو بلورات السيكس.

أسئلة وأجوبة

س:ما هي طريقة نقل البخار الفيزيائي لـ PVT؟

أ:الـنقل البخار الفيزيائي (PVT)الطريقة هي تقنية تستخدم لزراعة بلورات عالية الجودة، وخاصة للمواد مثل كاربيد السيليكون (SiC). في PVT،يتم تسخين مادة صلبة في فراغ أو في بيئة منخفضة الضغط لتحليلها (تحويلها مباشرة من صلب إلى بخار)، والتي تنتقل بعد ذلك من خلال النظام وتستقر ككريستال على رصيف أكثر برودة.

س:ما هي طريقة نمو (سي سي) ؟

أ:نقل البخار الفيزيائي (PVT)

تتضمن التقنية تسخين مادة SiC في الفراغ لتبخيرها ، ثم السماح للبخار بالتراكم على رصيف أكثر برودة. تنتج هذه الطريقة بلورات SiC عالية الجودة وكبيرة مثالية لنصف الموصلات.

ترسب البخار الكيميائي (CVD)

في CVD ، يتم إدخال السلائف الغازية مثل السيلان والبروبان إلى غرفة حيث تتفاعل لتشكيل SiC على الركيزة. يتم استخدامه لإنتاج أفلام رقيقة وبلورات كبيرة.طريقة ليلي (التسخين عن طريق الحث)

تستخدم طريقة ليلي التسخين التحفيزي لزراعة بلورات سي سي كبيرة. يتكثف البخار من المواد السي سي المُسخنة على بلورات البذور.

نمو الحل (TSSG/LPE)

هذه الطريقة تنطوي على زراعة السيك من محلول ذوبان. تنتج بلورات نقية للغاية ومستويات مفرطة، مثالية لأجهزة عالية الأداء.