الدبوس الزهري للكهرباء الدبوس السيراميكية الدبوس الزهري عالي النقاء

الدبوس الزهري للكهرباء الدبوس السيراميكية الدبوس الزهري عالي النقاء

ملخص لـ (سافاير)

الدبابيس الزهرية هي مكونات هندسية دقيقة تستخدم على نطاق واسع في

معدات معالجة أشباه الموصلات، وخاصة في معالجة الصفائحالنمو، وأنظمة ترسب مثل MOCVD (ترسب البخار الكيميائي المعدني العضوي) ، PECVD (ترسب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما) ، وغيرها من درجات الحرارة العالية، الفراغ،أو بيئات تآكلالمصنوعة من أكسيد الألومنيوم أحادي البلور (Al2O3) ، المعروف أيضا باسم الزعفرة الاصطناعية، هذه الدبوس رفع قيمة لصلبتها الاستثنائية، الاستقرار الحراري، المقاومة الكيميائية،والمتانة.

خصائص الدبوس الرفيع

عادة ما يتم تصميم دبوس الرفع من الزهري

مزايا الدبابيس الزهرية

أ.مقاومة درجات الحرارة العالية

يحتفظ الزعفر بقوته الميكانيكية عند درجات حرارة تزيد عن 1500 درجة مئوية ، مما يجعله مناسبًا للمفاعلات البصرية وغرف الرسومات حيث قد تتشوه المواد الأخرى أو تتأكسد أو تتدهور.

ب. الاستقرار الكيميائي

الزعفر غير فعال كيميائيًا في الغازات التفاعلية والآكلة مثل H2 و NH3 و HF ، مما يضمن أداءً طويل الأمد في بيئات CVD و الحفر.

ج. صلابة شديدة

صلابة السطح العالية تقاوم الارتداء والخدش من اتصال اللوحة والتشغيل الميكانيكي. وهذا يقلل من توليد الجسيمات والتلوث.

د. دقة الأبعاد

يمكن معالجة الزفير إلى احتمالات ضيقة (± 1 μm) ، مما يضمن ارتفاع رفع الوافر المتسق ودقة الموقع وموثوقية المحاذاة.

e.إنتاج الجسيمات المنخفضة

على عكس السيراميك أو المعادن المغطاة التي قد تتقشع أو تخرج غازًا تحت الدورة الحرارية ، لا ينتج الزفير جزيئات ، وهو أمر بالغ الأهمية في بيئات العمليات النظيفة والنظيفة للغاية.

f.عمر خدمة طويل

المقاومة للاستعمال والثبات في ظل الظروف القاسية تساهم في انخفاض تواتر الصيانة وطول وقت تشغيل المعدات.

الصورة المادية للدبوس المرفع

تطبيقات الدبابيس الزهرية

يتم استخدام دبوس الرفع الزعفري في مجموعة من عمليات أشباه الموصلات والمواد المتقدمة حيث يحتاج الويفرات إلى التعامل بدقة أثناء التصنيع. وتشمل التطبيقات الرئيسية:

أ. نظم MOCVD

• نمو أشباه الموصلات المركبة القائمة على GaN و GaAs و InP

• إنتاج LED وديود الليزر

• رقائق الزعفران والرواسب جاهزة للإيبين

ب.مفاعلات PECVD و LPCVD

• نقل الوافرات أثناء ترسب الفيلم الرقيق على أساس البلازما

• تستخدم في الميكروإلكترونيات والخلايا الشمسية و MEMS و الفوتونيات

ج.أفران المعالجة الحرارية

• خطوات التسخين أو التأكسيد أو الانتشار في درجة حرارة عالية

د.تفتيش و معالجة الوافرات

• الأنظمة الميكانيكية التي تدعم أو تتلاعب مؤقتاً بالرقائق

e.غرف الحفر والتنظيف

• عندما تكون المقاومة الكيميائية حاسمة أثناء التنظيف المسبق للوافل أو إزالتها

أسئلة وأجوبة

س:ما هي العوامل الرئيسية التي يجب مراعاتها عند شراء دبوس الزعفر؟

أ:سيناريو التطبيق

• الظروف المادية: تحديد الظروف البيئية التي سيتعرض لها دبوس الرفع، مثل درجات الحرارة العالية أو البيئات المآكلة.
• الغرض: اختيار تصميم مناسب بناء على التطبيق المحدد (على سبيل المثال، القياس الطيفي، أدوات الدقة، الخ).

الأبعاد والمواصفات

• قطر وطول: اختر القطر والطول المناسبين بناءً على حجم العينات التي يتم دعمها أو رفعها.
• متطلبات التسامح: تأكد من أن دبوس الرفع تلبي متطلبات التسامح الأبعاد لتطبيقك للحفاظ على الدقة.

توصيات المنتجات ذات الصلة

قضبان الزعفري