قوارب الكوارتز المقاومة لدرجات الحرارة العالية

مقدمة المنتج

قارب الوافر ، المعروف أيضًا باسم قارب أو حامل ، هو أداة حاسمة في تصنيع أشباه الموصلات لحمل ونقل وتحديد موقع الوافرات.يجب أن يكون تصميمه قادرًا على تحمل الظروف القاسية مثل درجات الحرارة العالية (> 1000 درجة مئوية)، التآكل الكيميائي ، والفراغ الكهربائي الستاتي (ESD) لضمان سلامة اللوحات خلال العمليات المختلفة.

المبدأ

- نعمالموازنة والتثبيت:
تتماشى ثقوب تحديد الموقع على القارب مع الدبابيس في كيسة الوافر ، مما يتيح نقل الدفعات دون التعامل اليدوي.
فتحات مزدوجة الطبقات (أعلى وأسفل) تضمن الوافيرات أثناء الدورة الحرارية (على سبيل المثال ، التسخين).

- نعمإدارة الإجهاد الحراري:
المادة ذات التوسع الحراري المنخفض (0.5×10−6/°C) تقلل من الانحناء تحت تقلبات درجة الحرارة.
هيكل الحشيش يوزع الإجهاد الحراري بالتساوي

التوافق مع العملية:
هندسة الفتحات (على سبيل المثال ، من النوع I ، من النوع V) تستوعب سمك رقائق مختلف (300 × 800 μm) مع ضمان تدفق المفاعل في مرحلة الغاز.
القسم العرضي ذو شكل الماس يسمح بتحميل روبوتي ثنائي الاتجاه، مما يحسن من الناتج.

السلامة والحماية:
مكونات العازل (الريابيع ، وسائد المطاط) تمتص الصدمات الميكانيكية أثناء وضع الوافر.
تنظيف النيتروجين يزيل البقايا ويمنع التلوث

السمات

زجاج السيليكا المنصهر هو زجاج صناعي متخصص مصنوع من ثاني أكسيد السيليكون (SiO2). إنه بمثابة مادة أساسية استثنائية ذات خصائص فيزيائية وكيميائية متميزة.

• - نعممقاومة الحرارة العالية:

نقطة الترطيب: ~ 1730 درجة مئوية
يعمل بشكل مستمر عند 1100~1250 درجة مئوية ويتحمل التعرض لفترة قصيرة حتى 1450 درجة مئوية.

• - نعمالتخلّل الكيميائي:

مقاومة لمعظم الأحماض (باستثناء حمض الفلور هيدروكي)
مقاومة التآكل أعلى بـ30 مرة من السيراميك و 150 مرة أعلى من الفولاذ المقاوم للصدأ
يحافظ على الاستقرار في ظل الظروف الحرارية القاسية، يتفوق على المواد الأخرى.

• الاستقرار الحراري:

معامل التوسع الحراري المنخفض للغاية (~ 5.5 × 10-7 °C).
ينجو من الصدمة الحرارية (على سبيل المثال ، التسخين إلى 1100 درجة مئوية والتخفيف في الماء).

• - نعمالشفافية البصرية:

انتقال الطيف الواسع من الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء.
تمرير الضوء المرئي: > 95%
يصل ارتفاع انتقالات الأشعة فوق البنفسجية إلى > 85% في نطاق 185 ~ 250 نانومتر.

• - نعمالعزل الكهربائي:

المقاومة أعلى بـ 10,000 مرة من الزجاج العادي
خصائص كهربائية ممتازة حتى في درجات حرارة عالية

التطبيقات