|
معلومات تفصيلية |
|||
| مادة طبقة الجهاز: | SIC | خارج الاتجاه: | على المحور |
|---|---|---|---|
| سماكة كذا (19 نقطة): | 1000 نيمتر | مادة الطبقة المعدلة: | AL2O3 |
| سمك أكسيد أكسيد أكسيد الأكسيد (19 نقطة): | 3000 نيوتن متر | اتجاه طبقة الركيزة SI: | <100> |
| إبراز: | نظام التحكم في الوقت الحقيقي للروبوتات,نظام التحكم في الوقت الحقيقي للآلات الحاسوبية,CNC Machines Real Time Control System |
||
منتوج وصف
مقدمة
السيليكونكربيدعلىالتزامية (Sicoi)رفيعأفلاميمثلأالقطعحافةفصللمركبمواد،مخلوقبواسطةدمجأعالي-جودة،أعزب-كريستالالسيليكونكربيد (كذا)طبقة-عادة500ل600نانومترسميك-علىأالسيليكونثاني أكسيد (sio₂)قاعدة.معروفلإنهأرقىحراريالموصلية،عاليكهربائيانفصالقوة،وممتازمقاومةلكيميائيةتدهور ،كذا ،متىمقترنةمعوالعزلالركيزة ،تمكينالتطويرلالأجهزةقادرلالتشغيلبشكل موثوقتحتأقصىقوة،تكرار،ودرجة حرارةشروط.
مبدأ
Sicoiرفيعأفلاميستطيعيكونمصنعةخلالcmos-متناسقالتقنياتهذهمثلأيون-قطعورقاقةالترابط ،تسهيلهُماندماجمععاديأشباه الموصلاتجهازالمنصات.
أيون-قطعتقنية
واحدعلى نطاق واسعمستخدمطريقةينطويالأيون-القطع (ذكييقطع)يقترب،أينأرفيعكذاطبقةيكوننقلعلىأالركيزةخلالأيونزرعيتبعبواسطةرقاقةالترابط.هذاالمنهجية،بدءًامتطورلإنتاجالسيليكون-على-التزامية (SOI)رقائقفيحجم،الوجوهالتحدياتمتىمُطبَّقلكذا.خاصة،أيونزرعيستطيعيقدمالهيكليةعيوبفيكذاالذي - التينكونصعبلبصلحعبرحراريالصلب ،القيادةلجوهريبصريخسائرفيضوئيالأجهزة.بالإضافة إلى،الصلبفيدرجات الحرارةفوق1000 درجةجيمكنصراعمعمحددعمليةالقيود.
ليغلبهؤلاءالقيود ،ميكانيكيرقيقعبرطحنوكيميائيةميكانيكيتلميع (CMP)يستطيعيقللالكذا/sio₂-سيمركبطبقةلأقل1ميكرون ،العائدأبشدةسلسسطح.رد الفعلأيونالحفر (ري)العروضوإضافيرقيقطريقالذي - التييقللبصريخسائرفيSicoiالمنصات.فيموازي،مبتلأكسدة-بمساعدةCMPلديهيظهرفعاليةفيتقليلسطحالمخالفاتونثرالآثار ،بينماتاليعالي-درجة حرارةالصلبيستطيعيحسنإجماليرقاقةجودة.
رقاقةالترابطتكنولوجيا
وبديليقتربلملفقةSicoiالهياكلينطويرقاقةالترابط ،أينالسيليكونكربيد (كذا)والسيليكون (SI)رقائقنكونانضمتحتضغط،استخدامالحراريامؤكسدطبقاتعلىكلاهماالأسطحلاستمارةأرابطة.لكن،حراريأكسدةلكذايستطيعيقدممحليةعيوبفيالكذا/أكسيدواجهة.هؤلاءعيوبيمكنيزيدبصريالانتشارخسائرأويخلقتكلفةمحاصرةالمواقع.بالإضافة إلى ذلك،الSio₂طبقةعلىكذايكونغالباًمودعةاستخدامبلازما-تعزيزكيميائيةبخارترسب (PECVD) ،أعمليةالذي - التييمكنيقدمالهيكليةالمخالفات.
لعنوانهؤلاءمشاكل،وتحسنطريقةلديهكانمتطورلملفقة3 ج-Sicoiرقائق ،أيّيستخدمأنوديكالترابطمعالبورسليكاتزجاج.هذاتقنيةيحتفظممتلىءالتوافقمعالسيليكونmicromachining ،CMOSالدوائر ،وكذاقائم علىضوئياندماج.بدلاً عن ذلك،غير متبلوركذاأفلاميستطيعيكونمباشرةمودعةعلىsio₂/سيرقائقعبرPECVDأوالثرثرة ،عرضأمبسطوcmos-وديالتصنيعطريق.هؤلاءالتقدمبشكل كبيريحسنالقابلية التوسعوقابلية التطبيقلSicoiالتقنياتفيالضوئية.
المزايا
فيمقارنةلحاضِرمادةالمنصاتهذهمثلالسيليكون-على-التزامية (Soi) ،السيليكونالنيتريد (الخطيئة) ،والليثيومniobate-على-التزامية (lnoi) ،الSicoiمنصةالعروضمتميزأداءفوائدلضوئيالتطبيقات.معإنهفريدملكيات،Sicoiيكونبشكل متزايدمعترف بهامثلأواعدمُرَشَّحلالتالي-جيلالكمالتقنيات.إنهمفتاحالمزايايشمل:
-
واسعبصريالشفافية:Sicoiالمعارضعاليالشفافيةعيرأواسعالطيفيةيتراوح-منتقريبًا400نانومترل5000نانومتربينماالحفاظقليلبصريخسارة،معدليل الموجةالتوهينعادةأقل1ديسيبل/سم.
-
متعدد الوظائفالقدرة:المنصةتمكينمتنوعوظائف ،مشتملكهربائيالبصريةتعديل،حراريضبط،وتكراريتحكم،تحضيرهو - هيمناسبلمعقدمدمجضوئيدوائر.
-
غير خطيبصريملكيات:Sicoiيدعمثانية-متناسقجيلوآخرغير خطيالآثار ،وهو - هيأيضًايوفرأقابلة للحياةمؤسسةلأعزب-فوتونالانبعاثخلالهندسةلونالمراكز.
التطبيقات
Sicoiمواددمجالأرقىحراريالموصليةوعاليانفصالالجهد االكهربىلالسيليكونكربيد (كذا)معالممتازكهربائيالعزلملكياتلأكسيدطبقات ،بينمابشكل كبيرتعزيزالبصريصفاتلمعياركذاركائز.هذايجعلهمبشدةمناسبلأواسعيتراوحلمتقدمالتطبيقات ،مشتملمدمجالضوئيات ،الكمبصريات،وعالي-أداءقوةالإلكترونيات.
الاستفادةالSicoiمنصة،الباحثونيملكبنجاحملفقةمتنوععالي-جودةضوئيالأجهزةهذهمثلمستقيمأدلة الموجات ،microringوmicrodiskالمرنان ،ضوئيكريستالأدلة الموجات ،كهربائيالبصريةالمعدلون ،ماخ-زيندرمقاييس التداخل (Mzis) ،وبصريشعاعالانقسامات.هؤلاءعناصرنكونتميزبواسطةقليلالانتشارخسارةوممتازوظيفيةأداء،توفيرقويبنية تحتيةلالتقنياتيحبالكمتواصل،ضوئيإشارةيعالج،وعالي-تكرارقوةالأنظمة.
بواسطةاستخدامأرفيعفيلمبناء-عادةتشكلتبواسطةطبقةأعزب-كريستالكذا (حول500-600نانومترسميك)علىأالسيليكونثاني أكسيدالركيزة -Sicoiتمكينعمليةفيمطالبةالبيئاتتنطويعاليقوة،مرتفعةدرجات الحرارة ،وراديو-تكرارشروط.هذامركبتصميمالمواقفSicoiمثلأالقيادةمنصةلالتالي-جيلالبصرية الإلكترونيةوالكمالأجهزة.
سؤال وجواب
س 1:ماذايكونأSicoiرقاقة؟
A1: أsicoi (السيليكونكربيدعلىعازل)رقاقةيكونأمركببناءتتألفلأرفيعطبقةلعالي-جودةأعزب-كريستالالسيليكونكربيد (كذا)المستعبدينأومودعةعلىوالعزلطبقة،عادةالسيليكونثاني أكسيد (Sio₂).هذابناءيجمعالممتازحراريوكهربائيملكياتلكذامعالعزلفوائدلوعازل،تحضيرهو - هيبشدةمناسبلالتطبيقاتفيالضوئيات ،قوةإلكترونيات ،والكمالتقنيات.
س 2:ماذانكونالرئيسيطلبالمناطقلSicoiرقائق؟
A2: Sicoiرقائقنكونعلى نطاق واسعمستخدمفيمدمجالضوئيات ،الكمبصريات،RFإلكترونيات ،عالي-درجة حرارةالأجهزة ،وقوةالأنظمة.عاديعناصريشملmicroringالمرنان ،ماخ-زيندرمقاييس التداخل (Mzis) ،بصريأدلة الموجات ،المعدلون ،microdiskالمرنان ،وشعاعالانقسامات.
س 4:كيفنكونSicoiرقائقملفقة؟
A4: Sicoiرقائقيستطيعيكونأنتجتاستخداممتنوعطُرق،مشتملذكي-يقطع (أيون-قطعورقاقةالترابط) ،مباشرالترابطمعطحنوCMP ،أنوديكالترابطمعزجاج،أومباشرترسبلغير متبلوركذاعبرPECVDأوالثرثرة.الخيارلطريقةيعتمد علىعلىالطلبومرغوبكذافيلمجودة.
المنتج ذي الصلة