نظام التحكم في الوقت الحقيقي سيكو 99.9٪ دقة الخوارزمية للروبوتات والآلات سي إن سي

نظام التحكم في الوقت الحقيقي SICOI 99.9٪ دقة الخوارزمية للروبوتات والآلات CNC

مقدمة
السيليكونالكربيدعلىعازل ((سي سي أو آي)رقيقةالأفلامتمثلأالقطعالحافةالفئةمنمركبالموادcreatedبواسطةالاندماجأعاليةالجودةواحدبلورالسيليكونالكربيد (SiC)طبقةعادة500إلى600نانومتراتسميكةعلىأالسيليكونثاني أكسيد الكربونSiO2)القاعدة.المعروفلـاليهأعلىالحرارةالتوصيلعاليةالكهرباءتقسيمقوةوممتازالمقاومةإلىالمواد الكيميائيةالتدهورسي سيعندمامُزَوَّجمعوعازلةالركيزةيسمحالـالتنميةمنالأجهزةقادرةمنتعملموثوق بهاتحتشديدالطاقةالترددودرجة الحرارةالشروط

المبدأ
سيكورقيقةالأفلاميمكنأن تكونالمصنعةمن خلالنظام التشغيل المركزيمتوافقةتقنياتمثل هذاكماأيونالقطعورقائقالارتباطتسهيلبلديالتكاملمعتقليدينصف موصلالجهازالمنصات

أناقطعالتقنية
واحدعلى نطاق واسعتستخدمطريقةيتضمنالـأيونقطع (ذكيقطع)الاقترابحيثأرقيقةSiCطبقةهوتم نقلهاعلىأالركيزةمن خلالأيونزرعمتابعةبواسطةرقائقالارتباطهذاالمنهجيةبدايةًمتطورةلـإنتاجالسيليكونعلىعازل (الـ (SIO)رقائقفيالمقياسالوجوهالتحدياتعندماتطبيقإلىسي سي.على وجه التحديد،أيونزرعيمكنتقديمالهيكليةالعيوبفيSiCذلكهمصعبةإلىإصلاحمن خلالالحرارةالتسخينالرائدةإلىكبيراًالبصريةالخسائرفيالفوتونيةالأجهزةعلاوة على ذلك،التسخينفيدرجات الحرارةفوق1000 درجةجمايوالنزاعمعمحددةالعمليةالقيود.

إلىالتغلب علىهذهالقيودالميكانيكيةالرقمن خلالطحنوالمواد الكيميائيةالميكانيكيةالتلميع ((CMP)يمكنتقليلالـSiC/SiO2نعممركبطبقةإلىأسفل1μm،مُسْتَعْطِيأعاليةناعمةسطح.منفعلةأيونالحفر (RIE)العروضوإضافيةالرقالمسارذلكيقللالبصريةالخسائرفيسيكوالمنصاتفيمتوازيةرطبةالأكسدةمساعدةCMPلديهيظهرالفعاليةفيالحد منالسطحعدم النظاموالتشتتالآثاربينماالتاليعاليةدرجة الحرارةالتسخينيمكنتعزيزبشكل عامرقائقالجودة

رقائقالارتباطالتكنولوجيا
والبديلالنهجلـتصنيعسيكوالهياكليتضمنرقائقالارتباطحيثالسيليكونالكربيد (SiC)والسيليكون (نعم)رقائقهمانضمتتحتالضغطباستخدامالـحرارياًأكسدةطبقاتعلىكلاهماالأسطحإلىالنموذجأالرابطة.ومع ذلكالحرارةالأكسدةمنSiCيمكنتقديممحليالعيوبفيالـSiC/أكسيدالواجهةهذهعدم الكمالمايوزيادةالبصريةالتكاثرالخسائرأويخلقالتكلفةالصيدالمواقعبالإضافة إلى ذلكالـSiO2طبقةعلىSiCهوoftenالمودعةباستخدامالبلازمامعززةالمواد الكيميائيةالبخارالوداع (PECVD) ،أالعمليةذلكمايوتقديمالهيكليةعدم النظام

إلىالعنوانهذهالقضاياوتحسنتطريقةلديهكانمتطورةلـتصنيع3C-سيكورقائقالذييستخدمالـ anodicالارتباطمعبوروسيليكاتالزجاجهذاتقنيةيحتفظكاملةالتوافقمعالسيليكونالتصنيع الدقيق،سي أم أو إسالدوائروسي سيعلى أساسالفوتونيةالتكاملبدلاً من ذلكغير متحركةSiCالأفلاميمكنأن تكونمباشرةالمودعةعلىSiO2/نعمرقائقمن خلالPECVDأوالرذاذ،العرضأمبسطةونظام التشغيل المركزيوديةتصنيعالطريق.هذهالتقدمبشكل كبيرتعزيزالـقابلية التوسعوالتطبيقمنسيكوالتكنولوجياتفيالفوتونيك

المزايا
فيمقارنةإلىالحاليالموادالمنصاتمثل هذاكماالسيليكونعلىعازل (الـ SOI)السيليكونالنتريد (SiN) ،والليثيومنيوباتعلىعازل ((LNOI)الـسيكومنصةالعروضمميزةالأداءالمزايالـالفوتونيةالتطبيقاتمعاليهفريدةالخصائصسيكوهوبشكل متزايدمعترف بهكماأواعدةالمرشحلـالتالي...الجيلالكمالتكنولوجياتإنهالمفتاحالمزاياتشمل:

• واسعةالبصريةالشفافية:سيكوالمعارضعاليةالشفافيةعبرأواسعةالطيفيالنطاقمنتقريباً400nmإلى5000nmبينماالحفاظمنخفضةالبصريةخسارةمعموجه الموجاتالتخفيفعادةأسفل1dB/سم

• متعددة الوظائفالقدرة:الـمنصةيسمحمتنوعةالوظائفبما في ذلكالكهرباءالبصريةتعديلالحرارةضبط،والترددالتحكمصنعهومناسبةلـمعقدةمتكاملةالفوتونيةالدوائر

• غير خطيةالبصريةالخصائص:سيكوالدعمثانياًالهارمونيةالجيلوغيرهاغير خطيةالآثاروهوأيضاًيوفرأقابلة للحياةالأساسلـواحدالفوتونانبعاثاتمن خلالالهندسةاللونالمركز.

التطبيقات

سيكوالموادإدماجالـأعلىالحرارةالتوصيلوعاليةتقسيمالجهدمنالسيليكونالكربيد (SiC)معالـممتازالكهرباءالعزلالخصائصمنأكسيدطبقاتبينمابشكل كبيرتعزيزالـالبصريةالخصائصمنالمعيارSiCالركائزهذايجعلهمعاليةمناسبةلـأواسعةالنطاقمنمتقدمةالطلباتبما في ذلكمتكاملةالفوتونياتالكمالبصرياتوعاليةالأداءالقوةالإلكترونيات

الرافعة الماليةالـسيكومنصةالباحثينأن يكونبنجاحالمصنوعةمختلفةعاليةالجودةالفوتونيةالأجهزةمثل هذاكمامستقيمالموجات،حلقات صغيرةوالقرص الصغيرأجهزة الرنين،الفوتونيةبلورالموجات،الكهرباءالبصريةوحدات التحكم،ماخزيندرمقاييس التداخل (مؤشرات التجارة المتعددة الأبعادوالبصريةشعاعالمفتاحات.هذهالمكوناتهممميزةبواسطةمنخفضةالتكاثرخسارةوممتازوظيفيةالأداءتوفيرقويةالبنية التحتيةلـالتكنولوجياتمثلالكمالتواصلالفوتونيةالإشارةالمعالجةوعاليةالترددالقوةأنظمة.

بواسطةالاستفادةأرقيقةفيلمالهيكلعادةتشكلتبواسطةطبقاتواحدبلورSiC (حولها500600nmسميكة)علىأالسيليكونثاني أكسيدالركيزةسيكويسمحالعمليةفيمتطلبةالبيئاتتتضمنعاليةالطاقةمرتفعدرجات الحرارةوالراديوالترددالشروطهذامركبالتصميمالمواقفسيكوكماأالرائدةمنصةلـالتالي...الجيلالأجهزة الالكترونيةوالكمالأجهزة

أسئلة وأجوبة

س1:ماذا ؟هوأسيكووفرة؟
A1: أسيكو (السيليكونالكربيدعلىعازل)رقائقهوأمركبالهيكلتتكونمنأرقيقةطبقةمنعاليةالجودةواحدبلورالسيليكونالكربيد (SiC)مقيدأوالمودعةعلىوعازلةطبقةعادةالسيليكونثاني أكسيد الكربونSiO2).هذاالهيكلالمجمعاتالـممتازالحرارةوالكهرباءالخصائصمنSiCمعالـالعزلةالمزايامنوعازل،صنعهوعاليةمناسبةلـالتطبيقاتفيالفوتونياتالقوةالإلكترونياتوالكمالتكنولوجيات

س2:ماذا ؟همالـالرئيسيالتطبيقالمناطقمنسيكورقائق؟
A2: سيكورقائقهمعلى نطاق واسعتستخدمفيمتكاملةالفوتونياتالكمالبصرياتRFالإلكترونياتعاليةدرجة الحرارةالأجهزةوالقوةأنظمة.نموذجيالمكوناتتشملحلقات صغيرةأجهزة الرنين،ماخزيندرمقاييس التداخل (مؤشرات التجارة المتعددة الأبعادالبصريةالموجات،وحدات التحكم،القرص الصغيرأجهزة الرنين،وشعاعالمفتاحات.

السؤال 4:كيفهمسيكورقائقمُصَنَّع؟
A4: سيكورقائقيمكنأن تكونأنتجتباستخداممختلفةالطرقبما في ذلكذكيقطع (أيونالقطعورقائقالارتباط)مباشرةالارتباطمعطحنو(سي إم بي)الـ anodicالارتباطمعزجاجأومباشرةالوداعمنغير متحركةSiCمن خلالPECVDأويطير.الـاختيارمنطريقةيعتمدعلىالـالتطبيقومطلوبةSiCفيلمالجودة

المنتج المرتبط