الكربيد السيليكوني SiC سلة السيراميك حفر أشباه الموصلات ومعالجة الوافرات الضوئية

إدخال سلة السيراميك SIC- نعم
- نعم

سجادة السيراميك SIC (سجادة السيراميك الكربيد السيليكون) هي أداة حامل صناعية عالية الأداء تستند إلى مادة كربيد السيليكون (SiC). يستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ،الطاقة الكهروضوئية، معالجة الليزر، ومجالات أخرى. الاستفادة من الخصائص الاستثنائية لـ SiC مثل مقاومة درجات الحرارة العالية، مقاومة التآكل،والقدرة العالية على التوصيل الحراري، فهي بديل مثالي للمواد التقليدية مثل الجرافيت والمعادن في السيناريوهات الصناعية المتقدمة.

المبادئ الأساسيةسلة السيراميك SIC- نعم
 

(1) خصائص المادة

مقاومة درجات الحرارة العالية: نقطة الذوبان تصل إلى 2700 درجة مئوية، والعمل المستقر عند 1800 درجة مئوية، مناسبة لعمليات درجات الحرارة العالية (على سبيل المثال، الحفر ICP، MOCVD).
التوصيل الحراري العالي: 140 ~ 300 W / m · K (أفضل من الجرافيت و SiC المخمر) ، مما يضمن توزيع الحرارة المتساوي وتقليل التشوه الناجم عن الإجهاد الحراري إلى الحد الأدنى.
مقاومة للتآكل: مقاومة للأحماض القوية (مثل HF و H2SO4) والقليات ، وتجنب التلوث أو تلف الهيكل.
التوسع الحراري المنخفض: معامل التوسع الحراري (4.0×10−6/K) قريب من السيليكون ، مما يقلل من التشوه أثناء تغيرات درجة الحرارة.

(2) التصميم الهيكلي

نقاء عالية وكثافة: محتوى SiC ≥99.3٪ ، مسامية ≈0 ، تتشكل عن طريق الغليان في درجة حرارة عالية (2250 ∼ 2450 درجة مئوية) لمنع تساقط الجسيمات.
أحجام قابلة للتخصيص: تدعم قطرات كبيرة (مثل φ600mm) وميزات متكاملة (ثقوب فراغ ، خروقات) للتعامل مع الوافرات والبث الفراغ

التطبيقات الرئيسيةسلة السيراميك SIC- نعم
- نعم

(1) تصنيع أشباه الموصلات

معالجة الوافرات: تستخدم في حفر ICP و CVD (ترسب البخار الكيميائي) لتحقيق الاستقرار في وضع الوافرات.
معدات MOCVD: تعمل كمحمول لنمو GaN (نتريد الغاليوم) في مصابيح LED عالية الوضوح ، وتتحمل درجات حرارة 1100-1200 درجة مئوية.

(2) الطاقة الكهروضوئية

نمو الكريستال السيليكوني: يحل محل صهاريج الكوارتز في إنتاج السيليكون البوليكريستال، ويتحمل درجات حرارة الذوبان > 1420 درجة مئوية.

(3) ليزر و معالجة الدقة

الحفر / القطع: بمثابة منصة للمواد الحفرة بالليزر ، المقاومة لتأثيرات شعاع الطاقة العالية.

(4) الهندسة الكيميائية والبيئية

معدات مقاومة للتآكل: تستخدم في خطوط الأنابيب والمفاعلات للتعامل مع السوائل العدوانية

أسئلة وأجوبةسلة السيراميك SIC
- نعم

س1: كيف تقارن SIC مع صواني الجرافيت؟
ج: SIC يقاوم درجات حرارة أعلى (1800 درجة مئوية مقابل ~ 1000 درجة مئوية) ويتجنب تحلل الطلاء. موصلاته الحرارية أعلى بـ 2 ٪ 3 × ، مما يقلل من ورقة التشوه.

السؤال 2: هل يمكن إعادة استخدام طبق SIC؟ نصائح الصيانة؟
ج: نعم، ولكن تجنب الاصطدامات الميكانيكية والدرجات الحرارية القصوى. نظف بقايا مع الأدوات الناعمة؛ تخزين جاف لمنع امتصاص الرطوبة.

السؤال الثالث: أوضاع الفشل الشائعة؟
الجواب: التشقق من الصدمة الحرارية أو الإجهاد الميكانيكي.

س4: هل مناسبة لبيئات الفراغ؟
الجواب: نعم ، النقاء العالي والغازات المنخفضة تجعلهم مثاليين لتمرير الفراغ والحفر على أشباه الموصلات

س5: كيفية اختيار المواصفات؟
ج: النظر في درجة حرارة العملية، وقدرة الحمل، والتوافق (على سبيل المثال، φ600mm الصحنات للوافلات الكبيرة)

منتجات ذات صلة

12 بوصة سيفي كربيد السيليكون 300 ملم سيفي كربيد السيليكون

4H/6H P-Type Sic Wafer 4 بوصة 6 بوصة Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° نحو الدوبينج من النوع P