|
معلومات تفصيلية |
|||
| Material: | Optical Grade LiNbO3 wafes | Diameter/size: | 2”/3”/4”/6“/8” |
|---|---|---|---|
| Cutting Angle: | X/Y/Z etc | TTV: | <3μm |
| Bow: | -30| Warp: |
<40μm |
|
منتوج وصف
تقدم
تستخدم بلورات LiNbO3 على نطاق واسع كمضاعفات تردد لأطوال موجة > 1um ومذبذبات المعلمات البصرية (OPOs) المضخة عند 1064 نانومتر وكذلك أجهزة شبه المطابقة في المراحل (QPM).نظرا لمعادلاته الكبيرة Elector-Optic (E-O) و Acousto-Optic (A-O)، كريستال LiNbO3 هو المادة الأكثر استخدامًا لخلايا بوكيل ، ومفتاحات Q ومُعدلات المراحل ، وترتكيبات الموجهات ، وألواح الموجات الصوتية السطحية (SAW) ، إلخ.
لدينا خبرة وفيرة في زراعة والإنتاج الضخم لليثيوم نيوبات الصف البصري على كل من الكرة والوافير.,التلميع والتحقق من جميع المنتجات النهائية تم اجتياز اختبار كوري تيمبر وتفتيش الجودة. جميع الوافرات تخضع لمراقبة جودة صارمة وتفحص.وأيضاً تحت نظافة سطح صارمة ومراقبة مسطحة كذلك.
المواصفات
| المواد | البصرية الدرجة LiNbO3 الكعكات ((البيضاء أو أسود) | |
| كوري الحرارة | 1142±0.7°C | |
| قطع الزاوية | X/Y/Z الخ | |
| قطر/حجم | 2 ′′/3 ′′/4 ′′/6′′/8 ′′ | |
| تول ((±) | < 0.20 ملم ± 0.005 ملم | |
| سمك | 0.18 ٠.٥ ملم أو أكثر | |
| الابتدائي مسطحة | 16ملم/22ملم/32ملم | |
| TTV | 3μm | |
| اركبي | -30 | |
| حركة الدوران | <40μm | |
| التوجيه مسطحة | كل شيء متاح | |
| السطح النوع | الجانب الواحد الملمع ((SSP) / الجانبين الملمع ((DSP)) | |
| ملمع الجانب را | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| الحافة المعايير | R=0.2mm نوع C أو Bullnose | |
| الجودة | خالية من الشقوق ((فقاعات والإدماج) | |
| البصرية مُسْتَدْخَل | Mg/Fe/Zn/MgO الخ للوفيرات ذات الجودة البصرية LN< لكل طلب | |
| رقائق السطح المعايير | مؤشر الانكسار | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm طول موجة / طريقة مقربة بريزما. |
| التلوث | لا شيء | |
| الجسيمات c>0.3μ م | <=30 | |
| خدش، شق | لا شيء | |
| عيب | لا يوجد شقوق على الحواف أو خدوش أو آثار من المنشار أو بقع | |
| التعبئة | كمية/صندوق الوافر | 25 قطعة لكل صندوق |
الخصائص
إن تصنيع رقائق نيوبات الليثيوم على عازل (LNOI) ينطوي على سلسلة متطورة من الخطوات التي تجمع بين علوم المواد وتقنيات التصنيع المتقدمة.تهدف هذه العملية إلى خلق، فيلم ليتيم نيوبات عالي الجودة (LiNbO3) مرتبط بقطعة عازلة ، مثل السيليكون أو ليتيم نيوبات نفسه. فيما يلي شرح مفصل للعملية:
الخطوة 1: زرع الأيونات
تتضمن الخطوة الأولى في إنتاج رقائق LNOI زرع الأيونات. يتم تعريض بلور نيوبات الليثيوم السائبة لأيونات الهيليوم عالية الطاقة (He) المحقنة في سطحها.آلة زرع الأيونات تسرع أيونات الهيليوموالتي تخترق بلورات نيوبات الليثيوم إلى عمق معين
طاقة أيونات الهيليوم يتم التحكم بها بعناية للوصول إلى العمق المطلوب في البلورتسبب اضطرابات ذرية تؤدي إلى تشكيل طائرة ضعيفةهذه الطبقة ستسمح في النهاية بتقسيم الكريستال إلى طبقتين مختلفتينحيث تصبح الطبقة العليا (المشار إليها باسم الطبقة A) فيلم نيوبات الليثيوم الرقيق اللازم لLNOI.
سمك هذا الفيلم الرقيق يتأثر مباشرة بعمق الزرع، والذي يتحكم به طاقة أيونات الهيليوم.وهو أمر حاسم لضمان التكافؤ في الفيلم النهائي.
الخطوة الثانية: تحضير القالب
بمجرد الانتهاء من عملية زرع الأيونات، الخطوة التالية هي إعداد الركيزة التي ستدعم فيلم نيوبات الليثيوم الرقيق.وتشمل مواد الركيزة الشائعة السيليكون (Si) أو نيوبات الليثيوم (LN) نفسهيجب أن يوفر الركيزة الدعم الميكانيكي للفيلم الرقيق وضمان الاستقرار على المدى الطويل خلال خطوات المعالجة اللاحقة.
لإعداد الركيزة a SiO₂ (silicon dioxide) insulating layer is typically deposited onto the surface of the silicon substrate using techniques such as thermal oxidation or PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)هذه الطبقة بمثابة الوسيط العازل بين فيلم نيوبات الليثيوم و الركيزة السيليكونية. في بعض الحالات إذا لم تكن طبقة SiO2 ناعمة بما فيه الكفاية،يتم تطبيق عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) لضمان أن السطح موحد ومستعد لعملية الارتباط.
الخطوة الثالثة: ربط الفيلم الرقيق
بعد تحضير الركيزة، الخطوة التالية هي ربط فيلم نيوبات الليثيوم الرقيق (الطبقة A) بالركيزة.يتم قلبها بـ 180 درجة ووضعها على الركيزة المعدةعادة ما يتم تنفيذ عملية الارتباط باستخدام تقنية الارتباط.
في ربط الوافر ، يتم تعريض كل من بلور نيوبات الليثيوم والرصيف لضغط ودرجة حرارة عالية ، مما يتسبب في انضمام السطحين بقوة.عادةً ما لا تتطلب عملية الارتباط المباشر أي مواد لاصقة، ويتم ربط السطوح على المستوى الجزيئي. لأغراض البحث ، يمكن استخدام البنزوكلوبوتين (BCB) كمادة ربط وسيطة لتوفير دعم إضافي ،على الرغم من أنه لا يستخدم عادة في الإنتاج التجاري بسبب استقراره المحدود على المدى الطويل.
الخطوة الرابعة: التسخين وتقسيم الطبقات
بعد عملية الارتباط ، تخضع اللوحة الملتصقة لعلاج التسخين. التسخين أمر حاسم لتحسين قوة الارتباط بين طبقة نيوبات الليثيوم والرصيف ،وكذلك لإصلاح أي ضرر ناجم عن عملية زرع الأيونات.
أثناء التسخين ، يتم تسخين اللوحة المربوطة إلى درجة حرارة محددة والحفاظ على هذه درجة الحرارة لفترة معينة.هذه العملية لا تعزز فقط الروابط بين الوجهات بل تحفز أيضا على تكوين فقاعات صغيرة في الطبقة المزروعة بالأيوناتهذه الفقاقيع تدريجياً تسبب فصل طبقة نيوبات الليثيوم (طبقة أ) عن بلورات نيوبات الليثيوم الأصلية (طبقة ب).
بمجرد حدوث الفصل ، يتم استخدام أدوات ميكانيكية لفصل الطبقتين ، تاركة خلفها فيلم ليتيم نيوبات رقيق وعالي الجودة (طبقة A) على الركيزة.يتم خفض درجة الحرارة تدريجياً إلى درجة حرارة الغرفة، إكمال عملية التسخين وفصل الطبقات.
الخطوة الخامسة: تسطيح CMP
بعد فصل طبقة نيوبات الليثيوم ، يكون سطح رقاقة LNOI عادةً خشنًا وغير متساوٍ. لتحقيق جودة السطح المطلوبة ،تخضع الوافر لعملية التلميع الكيميائي الميكانيكي النهائية (CMP). يُمَيِّز CMP سطح اللوحة، ويُزيل أيّ خشونة متبقية ويضمن أنّ الفيلم الرقيق مستطيل.
عملية CMP ضرورية للحصول على التشطيب عالي الجودة على الوافر ، وهو أمر بالغ الأهمية لتصنيع الجهاز اللاحق. يتم صقل السطح إلى مستوى دقيق للغاية ،غالبًا ما يكون الخام (Rq) أقل من 0.5 نانومتر كما تم قياسها بواسطة مجهر القوة الذرية (AFM).
تطبيقات رقائق LNOI
يتم استخدام رقائق LNOI (ليثيوم نيوبات على عازل) في مجموعة واسعة من التطبيقات المتقدمة بسبب خصائصها الاستثنائية ،بما في ذلك المعاملات البصرية غير الخطية العالية والخصائص الميكانيكية القويةفي البصريات المتكاملة ، تكون رقائق LNOI ضرورية لإنشاء أجهزة فوتونية مثل وحدات التحكم ، الموجهات الموجية ، والموجات الموجية ، والتي هي حاسمة للتلاعب بالضوء في الدوائر المتكاملة.في الاتصالاتفي مجال الحوسبة الكمومية، تستخدم رقائق LNOI على نطاق واسع في المنظمات البصرية، والتي تمكن من نقل البيانات عالية السرعة في شبكات الألياف البصرية.اللوحات LNOI تلعب دورا حيويا في توليد أزواج الفوتونات المتشابكة، والتي هي أساسية لتوزيع المفاتيح الكمية (QKD) والاتصالات الآمنة. بالإضافة إلى ذلك ، يتم استخدام رقائق LNOI في العديد من تطبيقات أجهزة الاستشعار ،حيث يتم استخدامها لإنشاء أجهزة استشعار بصرية وصوتية حساسة للغاية لمراقبة البيئة، التشخيص الطبي، والعمليات الصناعية. هذه التطبيقات المتنوعة تجعل رقائق LNOI مادة رئيسية في تطوير تكنولوجيات الجيل التالي عبر مجالات متعددة.
الأسئلة الشائعة
س: ما هو LNOI؟
الإجابة: (LNOI) تعني (ليثيوم نيوبات على عازل)إنه يشير إلى نوع من اللوحات التي تتميز بطبقة رقيقة من نيوبات الليثيوم (LiNbO3) متصلة بقطعة عازلة مثل السيليكون أو مادة عازلة أخرىتحتفظ رقائق LNOI بالخصائص البصرية والبيزو الكهربائية والبايرو الكهربائية الممتازة لنيوبات الليثيوم ، مما يجعلها مثالية للاستخدام في العديد من التقنيات الفوتونية والاتصالات السلكية واللاسلكية والكمية.
س:ما هي التطبيقات الرئيسية لفحوصات LNOI؟
الجواب: تستخدم رقائق LNOI في مجموعة متنوعة من التطبيقات، بما في ذلك البصريات المتكاملة للأجهزة الفوتونية، وحدات البصرية في الاتصالات السلكية واللاسلكية، وتوليد الفوتونات المتشابكة في الحوسبة الكمية،وفي أجهزة استشعار للقياسات البصرية والصوتية في مراقبة البيئة، التشخيص الطبي، والاختبارات الصناعية.
س: كيف يتم تصنيع رقائق LNOI؟
ج:إن تصنيع رقائق LNOI ينطوي على عدة خطوات، بما في ذلك زرع الأيونات، وربط طبقة ليثيوم نيوبات إلى الركيزة (عادة السيليكون) ، والتصليح للفصل،والكيميائية الميكانيكية التلميع (CMP)إن زرع الأيونات يخلق طبقة رقيقة و هشة يمكن فصلها من بلورات الليثيوم النيوباتفيلم الليثيوم نيوبات عالي الجودة على الركيزة.
منتجات ذات صلة
نيوبات الليثيوم (LiNbO3) الكريستال EO/PO المكونات دفاع الاتصالات عالية التردد SAW
SiC على عازل SiCOI الرواسب التوصيل الحراري العالي النطاق العريض