 |
2 بوصة 3 بوصة 4 بوصة LNOI LiNbO3 رقاقة رقائق الليثيوم نيوبات طبقة رقيقة على ركيزة السيليكون
تفاصيل المنتج:
| مكان المنشأ: | الصين |
| اسم العلامة التجارية: | ZMKJ |
| إصدار الشهادات: | ROHS |
| رقم الموديل: | JZ-2 بوصة 3 بوصة 4 بوصة بوصة LNOI |
شروط الدفع والشحن:
| الحد الأدنى لكمية: | 1 قطع |
|---|---|
| الأسعار: | by case |
| تفاصيل التغليف: | حاوية بسكويت ويفر واحدة في غرفة التنظيف |
| وقت التسليم: | 4 أسابيع |
| شروط الدفع: | T / T ، ويسترن يونيون ، باي بال |
| القدرة على العرض: | 10 قطعة / الشهر |
|
معلومات تفصيلية |
|||
| مادة: | طبقة LiNbO3 على ركيزة السيليكون | سماكة الطبقة: | 300-1000 نانومتر |
|---|---|---|---|
| توجيه: | اكس كت | رع: | 0.5 نانومتر |
| طبقة العزل: | سيو 2 | المادة المتفاعلة: | 525um |
| مقاس: | 2 بوصة 3 بوصة 4 بوصة 8 بوصة | اسم المنتج: | LNOI |
| تسليط الضوء: | رقاقة نيوبات ليثيوم 4 بوصة,رقاقة رقيقة LNOI ليثيوم نيوبات,طبقة سليكونية LiNbO3 |
||
منتوج وصف
2 بوصة 3 بوصة 4 بوصة LNOI LiNbO3 رقاقة رقائق الليثيوم نيوبات طبقة رقيقة على ركيزة السيليكون
عملية تحضير رقاقة LNOI موضحة أدناه ، بما في ذلك الخطوات الخمس التالية:
(1) زرع الأيونات:تُستخدم آلة غرس الأيونات لدفع أيونات He عالية الطاقة من السطح العلوي لبلورة الليثيوم نيوبات.عندما تدخل الأيونات ذات الطاقة المحددة إلى البلورة ، سيتم إعاقتها بواسطة الذرات والإلكترونات في بلورة LN وتبطئ تدريجيًا وتبقى في موضع عمق محدد ، مما يؤدي إلى تدمير البنية البلورية بالقرب من هذا الموضع وتقسم بلورة LN إلى أعلى وأسفل A / طبقات ب.وستكون المنطقة A هي الطبقة الرقيقة التي نحتاجها لصنع LNOI.
(2) تحضير الركيزة:لصنع رقائق رقيقة من رقائق الليثيوم نيوبات ، فمن المؤكد أنه ليس من الممكن ترك مئات من الأغشية الرقيقة نانومتر LN في حالة معلقة.المواد الداعمة الأساسية مطلوبة.في رقائق SOI الشائعة ، الركيزة عبارة عن طبقة من رقائق السيليكون بسمك يزيد عن 500 ميكرومتر ، ثم يتم تحضير الطبقة العازلة SiO2 على السطح.أخيرًا ، يتم لصق غشاء السيليكون الرقيق أحادي البلورية على السطح العلوي لتشكيل رقائق SOI.بالنسبة لرقائق LNOI ، فإن Si و LN هما ركائز شائعة الاستخدام ، ثم يتم تحضير الطبقة العازلة SiO2 بواسطة الأكسجين الحراري أو عملية ترسيب PECVD.إذا كان سطح الطبقة العازلة غير مستوٍ ، فإن عملية الطحن الميكانيكي الكيميائي CMP ضرورية لجعل السطح العلوي أملسًا وسلسًا ، وهو مناسب لعملية الربط اللاحقة.
(3) ربط الفيلم:باستخدام جهاز ربط الرقاقة ، يتم عكس بلورة LN المزروعة بالأيونات 180 درجة وترتبط بالركيزة.بالنسبة لإنتاج مستوى الرقاقة ، يتم صقل أسطح الترابط لكل من الركائز و LN ، عادةً عن طريق الترابط المباشر دون الحاجة إلى مواد رابطة وسيطة.للبحث العلمي ، يمكن أيضًا استخدام BCB (benzocyclobutene) كمادة رابطة الطبقة المتوسطة لتحقيق ترابط Die to Die.وضع الربط BCB له متطلبات منخفضة على نعومة سطح الترابط ، وهو مناسب جدًا لتجارب البحث العلمي.ومع ذلك ، لا تتمتع BCBS باستقرار طويل الأجل ، لذلك لا يتم استخدام ربط BCB عادة في إنتاج الرقائق
(4) التلدين والتجريد:بعد أن يتم ربط السطحين البلوريين وبثقهما ، يلزم إجراء عملية تلدين وتقشير بدرجة حرارة عالية.بعد تركيب سطح البلورتين ، فإنه يحافظ أولاً على وقت معين عند درجة حرارة معينة لتقوية قوة الترابط البينية ، ويجعل طبقة الأيونات المحقونة فقاعة ، بحيث يتم فصل أغشية A و B تدريجياً.أخيرًا ، يتم استخدام المعدات الميكانيكية لتقشير الغشاءين عن بعضهما البعض ، ثم تقليل درجة الحرارة تدريجيًا إلى درجة حرارة الغرفة لإكمال عملية التلدين والفصل بأكملها.
(5) تسطيح CMP:بعد التلدين ، يكون سطح رقاقة LNOI خشنًا وغير مستوٍ.هناك حاجة إلى مزيد من التسطيح CMP لجعل الفيلم على سطح الرقاقة مسطحًا وتقليل خشونة السطح.
المواصفات المميزة
| أفلام رقيقة نيوبات الليثيوم 300-900 نانومتر (LNOI) | ||||
| أعلى طبقة وظيفية | ||||
| قطر الدائرة | 3 ، 4 ، (6) بوصة | توجيه | X ، Z ، Y إلخ. | |
| مادة | LiNbO3 | سماكة | 300-900 نانومتر | |
| مخدر (اختياري) | MgO | |||
| طبقة العزل | ||||
| مادة | SiO2 | سماكة | 1000-4000 نانومتر | |
| المادة المتفاعلة | ||||
| مادة | Si ، LN ، الكوارتز ، السيليكا المنصهرة ، إلخ. | |||
| سماكة | 400-500 ميكرومتر | |||
| طبقة إلكترود اختيارية | ||||
| مادة | Pt ، Au ، Cr | سماكة | 100-400 نانومتر | |
| بناء | فوق أو تحت طبقة العزل SiO2 | |||
تطبيق LN على السيليكون
1 ، اتصالات الألياف الضوئية ، مثل مغير الدليل الموجي ، وما إلى ذلك. مقارنة بالمنتجات التقليدية ، يمكن تقليل حجم الأجهزة المنتجة باستخدام مادة الأغشية الرقيقة هذه بأكثر من مليون مرة ، وتحسن التكامل بشكل كبير ، وعرض النطاق الترددي للاستجابة واسع ، استهلاك الطاقة منخفض ، والأداء أكثر استقرارًا ، وتكلفة التصنيع منخفضة.
2 ، الأجهزة الإلكترونية ، مثل المرشحات عالية الجودة ، وخطوط التأخير ، إلخ.
3 ، تخزين المعلومات ، ويمكن تحقيق تخزين معلومات عالي الكثافة ، وسعة تخزين معلومات فيلم 3 بوصات تبلغ 70 طنًا (100000 قرص مضغوط)
عرض طبقة رقيقة من رقائق الليثيوم نيوبات على ركيزة من السيليكون
