6 بوصة LiTaO3 LiNbO3 ويفر أسود مستقطب من أجل SAW / BAW 128 درجة Y Z-Cut
تفاصيل المنتج:
مكان المنشأ: | الصين |
اسم العلامة التجارية: | ZMKJ |
إصدار الشهادات: | ROHS |
رقم الموديل: | JZ-4INCH-LNOI |
شروط الدفع والشحن:
الحد الأدنى لكمية: | 2 قطع |
---|---|
الأسعار: | by case |
تفاصيل التغليف: | حاوية بسكويت ويفر واحدة في غرفة التنظيف |
وقت التسليم: | 4 أسابيع |
شروط الدفع: | T / T ، ويسترن يونيون ، باي بال |
القدرة على العرض: | 10 قطعة / الشهر |
معلومات تفصيلية |
|||
مادة: | طبقة LiNbO3 على ركيزة السيليكون | سماكة الطبقة: | 300-1000 نانومتر |
---|---|---|---|
توجيه: | اكس كت | التطبيق 2: | منشار 5G / أجهزة BAW |
رع: | 0.5 نانومتر | طبقة العزل: | سيو 2 |
المادة المتفاعلة: | 525um | مقاس: | 4 بوصة 6 بوصة 8 بوصة |
تسليط الضوء: | ويفر 6 بوصة LiNbO3 ويفر BAW LiNbO3 ويفر Z-Cut LiTaO3,BAW LiNbO3 Wafer,Z-Cut LiTaO3 Wafer |
منتوج وصف
6 بوصة LiTaO3 LiNbO3 ويفر أسود مستقطب لتطبيقات SAW / BAW 128 درجة Y Z-Cut
نيوبات الليثيوم (LiNbO3)البلورة الأحادية عبارة عن بلورة حديدية كهربية ذات معامل اقتران كهروميكانيكي مرتفع وخسارة انتشار منخفضة ، والتي يمكن استخدامها لتصنيع أجهزة SAW بنطاق ترددي يصل إلى 50٪.ترتبط خصائص الموجة السطحية الصوتية للمواد البلورية أحادية الليثيوم niobate ارتباطًا وثيقًا بتوجيهها واتجاه انتشارها.وفقًا لزوايا القطع المختلفة واتجاهات الانتشار ، تبلغ سرعة انتشار المنشار 3400 ~ 4000 م / ث ، ومعامل الاقتران الكهروميكانيكي هو 0٪ ~ 5.6٪ ، ومعامل درجة الحرارة هو -1.1 ~ -95.6 (10 ^ -6 / ℃).
تانتالات الليثيوم (LiTaO3)له خصائص كهرضغطية ، كهروضوئية وغير خطية ، ونطاق شفافية واسع من الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء.من المرغوب فيه أن يكون بسكويت الويفر LiTaO3 سطح أملس لكي يعمل بجودة جيدة.تم استخدام التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP) لتسوية الدوائر المتكاملة (ICs) أو الحصول على جودة سطح عالية للركائز.يبحث هذا البحث في تأثير حامض الستريك كمادة مضافة في ملاط LiTaO3 CMP.تم قياس خشونة الرقاقات بواسطة مجهر القوة الذرية (AFM ، XE-100) بعد التلميع.يحتوي الملاط ، الذي يحتوي على حامض الستريك كمادة مضافة ، على معدل إزالة وقوة احتكاك أعلى للمواد من الملاط الذي لا يحتوي على مادة مضافة.بعد الصقل ، يمكن تقليل خشونة سطح رقاقة LiTaO3 إلى 1.7A من Ra.
المواصفات المميزة
هيكل بلوري | ثلاثي الزوايا ، مجموعة الفضاء R3c ، مجموعة النقاط 3 م |
نقطة الانصهار | 1253 |
صلابة موس | 5 |
الكثافة (جم / سم 3) | 4.64 |
إيمان | لا أحد |
التجانس البصري | ~ 5x10-5 / سم |
نطاق الشفافية | 420-5200 نانومتر |
معامل الامتصاص | ~ 0.1٪ / سم @ 1064nm |
مؤشرات الانكسار | ني = 2.146 ، لا = 2.220@1300 نانومتر |
معاملات التمدد الحراري (عند 25 درجة مئوية) | //a،2.0x10-6/K |
معاملات التوصيل الحراري | 38 واط / م / كلفن عند 25 درجة مئوية |
المعاملات الحرارية الضوئية | dno / dT = -0.874 x 10-6 / K عند 1.4 ميكرومتر |
معادلات سيلمير | no2 = 4.9048 + 0.11768 / (λ2-0.04750) -0.027169λ2 |
مادة | منشار بسكويت الويفر 3 "4" 6 "LT / الصف البصري | ||
توجيه | X112 ° / Y28 ° / Y36 ° / Y42 ° / YZ أو حسب الطلب | ||
كوري درجة الحرارة | 605 درجة مئوية ± 3 درجة مئوية | ||
مخدر | الحديد | ||
مجال واحد | تم الانتهاء من الاستقطاب / مخفض | ||
توجيه | 36 ° Y ، 42 ° Y ، X-112 ° Y ، Y ، Z | ||
قطر الدائرة | 76.2 ± 0.2 ملم | 100 ± 0.2 مم | 150 ± 0.2 مم |
شقة أساسية | 22 ± 1 مم | 32 ± 1 مم | 47.5 مم ، 57.5 مم ، حز |
سماكة | 0.07 مم ~ 1.0 مم | 0.1 مم ~ 1.0 مم | 0.35 مم ~ 1.0 مم |
صقل الأسطح | جانب واحد / مزدوج الجانب / مزدوج الجانب ملفوف | ||
TTV | <1 ~ 5 ميكرومتر | ||
قَوس | ± (20 ميكرومتر ~ 40 ميكرومتر) | ||
اعوجاج | <= 20 ميكرومتر ~ 50 ميكرومتر | ||
LTV (5 مم × 5 مم) | <1.5 ميكرومتر | ||
PLTV (أقل من 0.5 ميكرومتر) | ≥98٪ (5 مم * 5 مم) مع 2 مم حافة مستبعدة | ||
الجانب المصقول رع | خشونة رع <= 5 أ | ||
معايير الجانب الخلفي | خشونة رع: 0.5-1.0 ميكرومتر ، GC # 1000 | ||
خدش وحفر (S / D) | 20/10 ، 40/20 ، 60/40 | ||
ملف الحافة | لا يتوافق مع SEMI M1.2@with GC800 #. منتظم عند كتابة C. | ||
شقوق ، علامات المنشار ، بقع | لا أحد |
عرض رقاقة LiTaO3 و LiNbO3