اسم العلامة التجارية: | ZMSH |
رقم الطراز: | رقاقة SiC من النوع N على مركب Si |
الـ MOQ: | 1 |
شروط الدفع: | T/T |
النوع الـ N SiC على الوافر المركب الـ Si 6 بوصة 150 مم SiC النوع 4H-N Si النوع N أو P
النوع الـ N SiC على Si Compound Wafer خلاصة
اكتسبت الكربيد السيليكوني من النوع N (SiC) على رقائق المركبات السيليكونية (Si) اهتمامًا كبيرًا بسبب تطبيقاتها الواعدة في الأجهزة الإلكترونية عالية الطاقة والوتيرة العالية.تقدم هذه الدراسة تصنيع وتوصيف SiC من النوع N على رقائق مركبة Siباستخدام ترسب البخار الكيميائي (CVD) ، نجحنا في زراعة طبقة SiC من النوع N عالية الجودة على رصيف Siضمان الحد الأدنى من عدم تطابق الشبكة والعيوبتم تأكيد السلامة الهيكلية للرقاقة المركبة من خلال تحليلات انكسار الأشعة السينية (XRD) ومجهر الإلكترونات الإرسالي (TEM) ،يظهر طبقة متساوية من SiC مع بلورية ممتازةأظهرت القياسات الكهربائية تحركية حامل متفوقة وتقليل المقاومة ، مما يجعل هذه المجموعات مثالية لجيل القوة الإلكترونية القادمة.تم تعزيز الموصلات الحرارية بالمقارنة مع رقائق السيتين التقليدية، مما يسهم في تحسين تبديد الحرارة في التطبيقات عالية الطاقة.تشير النتائج إلى أن SiC من النوع N على رقائق مركبة Si تحتوي على إمكانات كبيرة لدمج أجهزة عالية الأداء القائمة على SiC مع منصة تكنولوجيا السيليكون الراسخة.
المواصفات والرسم البيانيSiC من النوع N على رقاقة مركبة Si
البند | المواصفات | البند | المواصفات |
---|---|---|---|
قطرها | 150 ± 0.2 ملم | التوجه | <111>/<100>/<110> |
نوع SiC | 4 ساعة | النوع Si | المبلغ |
مقاومة SiC | 0.015 ∙0.025 Ω·cm | الطول المسطح | 47.5 ± 1.5 ملم |
سمك طبقة SiC النقل | ≥0.1 ميكرومتر | الشظايا، الخدوش، الشقوق (التفتيش البصري) | لا شيء |
لاغية | ≤5 ea/سطح (2 mm < D < 0.5 mm) | TTV | ≤5 ميكرومتر |
خشونة الجبهة | Ra ≤ 0.2 nm (5 μm × 5 μm) | سمك | 500/625/675 ± 25 ميكرومتر |
SiC من النوع N على صور الوافير المركبة
SiC من النوع N على تطبيقات Si Compound Wafer
النوع N SiC على رقائق مركبة Si لديها مجموعة متنوعة من التطبيقات بسبب مزيجها الفريد من خصائص كربيد السيليكون (SiC) والسيليكون (Si).هذه التطبيقات تركز في المقام الأول على الطاقة العالية، والأجهزة الإلكترونية عالية درجة الحرارة، و عالية التردد. بعض التطبيقات الرئيسية تشمل:
إلكترونيات الطاقة:
إلكترونيات السيارات:
أجهزة الترددات الراديوية وميكروويف:
الطيران والفضاء والدفاع:
الإلكترونيات الصناعية:
الأجهزة الطبية:
باختصار ، فإن SiC من النوع N على رقائق مركبة Si متعددة الاستخدامات ومهمة في التطبيقات التي تتطلب كفاءة عالية وموثوقية وأداء في بيئات صعبة ،مما يجعلها مادة رئيسية في تطوير التقنيات الإلكترونية الحديثة.