المعلم	القيمة
الأبعاد	7740×3390×2300ملم (L×W×H)
إمدادات الطاقة	AC380V، 50Hz، الطاقة الإجمالية 90KW
إمدادات النيوماتيك	2m3/h، 0.4-0.5MPa الهواء الجاف الخالي من الزيت
إمدادات الماء	2T/h @0.3MPa، ≥12MΩ·cm المقاومة

مبدأ العمل

مرحلة تنظيف قرص السيراميك

تنظيف دقيق: يستخدم التنظيف بالموجات فوق الصوتية بالماء غير المؤين (≥ 12MΩ · cm) لإزالة الملوثات على مستوى الميكرون من الأقراص السيرامية.
نظام التجفيف: السكاكين الهوائية عالية الكفاءة والتجفيف تحت الفراغ يضمنان عدم وجود رطوبة متبقية.

عملية الشمع الآلية

محاذاة الرؤية: كاميرات CCD تقوم بمسح إحداثيات سطح القرص، وتحقق دقة تحديد الموقع ± 0.02 ملم.
ترسب الشمع المسيطر عليه: الرؤوس المبرمجة لتوزيع الشمع تطبق 0.8g ± 0.05g من الشمع لكل رقاقة.
تحسين الضغط: المحركات الهوائية تحافظ على ضغط اتصال متساو 5-10N / cm2 أثناء تركيب اللوحة.

التحكم المتكامل

عملية متزامنة: ينسق PLC وحدة التنظيف ومحطات الشمع المزدوجة ، مما يتيح المعالجة المتوازية (أكثر من 30 قرصًا في الساعة).
ردود الفعل الجيدة: أجهزة استشعار سمك في الوقت الحقيقي تكتشف توحيد طبقة الشمع، وتقوم بتعديل المعلمات تلقائيًا إذا تجاوز الانحرافات ± 3٪.

المزايا الرئيسية

كفاءة الطاقة: معدل إعادة تدوير المياه النقية > 80٪ ، استهلاك الشمع 0.8g / وافر ، 35٪ طاقة أقل لكل قرص
الاتصال الذكي: متوافق مع MES / ERP لتتبع بيانات العملية بالكامل (سمك / ضغط / وقت)
قابلية التوسع: أدوات قابلة للتخصيص وصفات لأقراص غير قياسية Φ300-650mm

قدرة الإنتاج

حجم الوافر	قطر القرص	كمية	وقت الدورة
4 بوصات	Φ485mm	11 قطعة	5 دقيقة/قرص
4 بوصات	Φ576mm	13 قطعة	6 دقيقة/قرص
6 بوصات	Φ485mm	ستة قطع	3 دقيقة/قرص
6 بوصات	Φ576mm	8 قطع	4 دقيقة/قرص
8 بوصات	Φ485mm	3 قطع	2 دقيقة/قرص
8 بوصات	Φ576mm	5 قطع	3 دقيقة/قرص

التطبيقات

المعالجة الكاملة للقرص السيراميكي: التنظيف→التجفيف→الشمع في آلة واحدة

يستخدم في معالجة مواد أشباه الموصلات مثل كربيد السيليكون (SiC) ، السيليكون (Si) ، نتريد الغاليوم (GaN) ، ويمكن أيضا أن تستخدم لمواد مثل الزعفير، السيراميك، الكريستال،MEMS، والمنتجات البصرية.

صناعات نصف الموصلات الآلية 0

أسئلة وأجوبة

س1: كيف نضمن معدل العائد؟
A1: نظام الرؤية المخصص للأقراص السيراميكية يحقق دقة محاذاة في الوقت الحقيقي ± 0.02 ملم.

السؤال 2: كمية المياه المستهلكة في تنظيف القرص السيراميكي؟
A2: معدل إعادة تدوير المياه > 80٪ ، الاستهلاك ≤0.5L / disc.

السؤال 3: كيفية تحقيق تغيير سريع في حجم الوافر؟
ج3: مكتبة الأجهزة الذكية المتكاملة للآلة تقوم تلقائيًا بتبديل الأدوات عبر اختيار HMI (وقت التغيير <3 دقيقة).

العلامات: