معلومات تفصيلية |
|||
الأبعاد: | 7740 × 3390 × 2300 مم (L × W × H) | إمدادات الطاقة: | AC380V ، 50 هرتز ، إجمالي الطاقة 90 كيلو واط |
---|---|---|---|
العرض الهوائي: | 2M³/H ، 0.4-0.5MPa هواء جاف خالي من الزيت | إمدادات الماء: | 2T/H @0.3MPA ، ≥12mΩ · CM المقاومة |
إبراز: | صناعات أشباه الموصلات تنظيف الشمع آلة متكاملة,آلة مكاملة لتنظيف القرص السيراميكي,Ceramic Disc Cleaning Waxing Integrated Machine |
منتوج وصف
لمحة عامة عن المنتج
هذه الآلة المتكاملة لتنظيف الأقراص السيراميكية والشمع تجمع بين نظيفة الأقراص السيراميكية واحدة مع أقراص الأقراص السيراميكية المزدوجة ،مصممة لتنظيف عالية الكفاءة وشحومة الصفائح في صناعات الزفير وشبكات الموصلات، وتحقيق معدل استيراد مستقر 99.9٪.
المواصفات التقنية
المعلم | القيمة |
الأبعاد | 7740×3390×2300ملم (L×W×H) |
إمدادات الطاقة | AC380V، 50Hz، الطاقة الإجمالية 90KW |
إمدادات النيوماتيك | 2m3/h، 0.4-0.5MPa الهواء الجاف الخالي من الزيت |
إمدادات الماء | 2T/h @0.3MPa، ≥12MΩ·cm المقاومة |
مبدأ العمل
مرحلة تنظيف قرص السيراميك
-
تنظيف دقيق: يستخدم التنظيف بالموجات فوق الصوتية بالماء غير المؤين (≥ 12MΩ · cm) لإزالة الملوثات على مستوى الميكرون من الأقراص السيرامية.
-
نظام التجفيف: السكاكين الهوائية عالية الكفاءة والتجفيف تحت الفراغ يضمنان عدم وجود رطوبة متبقية.
عملية الشمع الآلية
-
محاذاة الرؤية: كاميرات CCD تقوم بمسح إحداثيات سطح القرص، وتحقق دقة تحديد الموقع ± 0.02 ملم.
-
ترسب الشمع المسيطر عليه: الرؤوس المبرمجة لتوزيع الشمع تطبق 0.8g ± 0.05g من الشمع لكل رقاقة.
-
تحسين الضغط: المحركات الهوائية تحافظ على ضغط اتصال متساو 5-10N / cm2 أثناء تركيب اللوحة.
التحكم المتكامل
-
عملية متزامنة: ينسق PLC وحدة التنظيف ومحطات الشمع المزدوجة ، مما يتيح المعالجة المتوازية (أكثر من 30 قرصًا في الساعة).
-
ردود الفعل الجيدة: أجهزة استشعار سمك في الوقت الحقيقي تكتشف توحيد طبقة الشمع، وتقوم بتعديل المعلمات تلقائيًا إذا تجاوز الانحرافات ± 3٪.
المزايا الرئيسية
-
كفاءة الطاقة: معدل إعادة تدوير المياه النقية > 80٪ ، استهلاك الشمع 0.8g / وافر ، 35٪ طاقة أقل لكل قرص
-
الاتصال الذكي: متوافق مع MES / ERP لتتبع بيانات العملية بالكامل (سمك / ضغط / وقت)
-
قابلية التوسع: أدوات قابلة للتخصيص وصفات لأقراص غير قياسية Φ300-650mm
قدرة الإنتاج
حجم الوافر | قطر القرص | كمية | وقت الدورة |
4 بوصات | Φ485mm | 11 قطعة | 5 دقيقة/قرص |
4 بوصات | Φ576mm | 13 قطعة | 6 دقيقة/قرص |
6 بوصات | Φ485mm | ستة قطع | 3 دقيقة/قرص |
6 بوصات | Φ576mm | 8 قطع | 4 دقيقة/قرص |
8 بوصات | Φ485mm | 3 قطع | 2 دقيقة/قرص |
8 بوصات | Φ576mm | 5 قطع | 3 دقيقة/قرص |
التطبيقات
المعالجة الكاملة للقرص السيراميكي: التنظيف→التجفيف→الشمع في آلة واحدة
يستخدم في معالجة مواد أشباه الموصلات مثل كربيد السيليكون (SiC) ، السيليكون (Si) ، نتريد الغاليوم (GaN) ، ويمكن أيضا أن تستخدم لمواد مثل الزعفير، السيراميك، الكريستال،MEMS، والمنتجات البصرية.
أسئلة وأجوبة
س1: كيف نضمن معدل العائد؟
A1: نظام الرؤية المخصص للأقراص السيراميكية يحقق دقة محاذاة في الوقت الحقيقي ± 0.02 ملم.
السؤال 2: كمية المياه المستهلكة في تنظيف القرص السيراميكي؟
A2: معدل إعادة تدوير المياه > 80٪ ، الاستهلاك ≤0.5L / disc.
السؤال 3: كيفية تحقيق تغيير سريع في حجم الوافر؟
ج3: مكتبة الأجهزة الذكية المتكاملة للآلة تقوم تلقائيًا بتبديل الأدوات عبر اختيار HMI (وقت التغيير <3 دقيقة).