|
معلومات تفصيلية |
|||
| حجم الويفر: | 4 ″ ، 6 ″ ، 8 ″ ، 12 ″ | المواد: | الزجاج ، الكوارتز ، إلخ. |
|---|---|---|---|
| أقل سماكة: | 0.2 مم (<6 ″) ، 0.3 مم (8 ″) ، 0.35 مم (12 ″) | الفتحة الدنيا: | 20 ميكرومتر |
| عبر زاوية تفتق: | 3 ~ 8 ° | عبر الملعب: | 50μm ، 100μm ، 150μm ، إلخ. |
| نسبة العرض القصوى: | 1:10 | طلاء المعادن: | قابلة للتخصيص |
| إبراز: | نصف الموصلات التعبئة الزجاجية,JGS1 القالب الزجاجي,JGS2 القالب الزجاجي,JGS1 glass substrate,JGS2 glass substrate |
||
منتوج وصف
لمحة عامة عن المنتج
تكنولوجيا TGV (من خلال الزجاج عبر) ، والمعروفة أيضًا باسم تكنولوجيا ثقب الزجاج ، هي تقنية اتصال كهربائي عمودي تخترق الأساسات الزجاجية.يسمح بالاتصالات الكهربائية الرأسية على الأساسات الزجاجية، لتحقيق اتصالات عالية الكثافة بين الرقائق، وكذلك بين الرقائق والرواسب. في حين أن تكنولوجيا TSV (من خلال السيليكون فيا) تستخدم للمداخلات في الرواسب القائمة على السيليكون،يعمل TGV لنفس الغرض في الأساسات الزجاجية.
تمثل الرواسب الزجاجية الجيل القادم من مواد قاعدة الشريحة ، مع الزجاج كمكون أساسي لها. التكنولوجيا الرئيسية التي تمكن من تعبئة الرواسب الزجاجية هي TGV.تشمل سلسلة صناعة رصيف الزجاج الإنتاج، المواد الخام والمعدات والتكنولوجيا والتعبئة والتجربة والتطبيقات، مع قطاعات الصعود التي تركز على الإنتاج والمواد والمعدات.
المزايا
- أداء كهربائي عالي التردد
- سهولة الحصول على أساسات زجاجية رقيقة للغاية على نطاق واسع
- كفاءة التكلفة
- سير العملية المبسط
- استقرار ميكانيكي قوي
- إمكانات تطبيق واسعة
المبادئ التقنية
(أ) إعداد رقائق الزجاج
(ب) شكل TGVs (من خلال الزجاج Vias)
(ج) الودائع طبقة حاجز PVD وطبقة البذور، وأداء الجانبي المزدوج الغطاء الكهربائي لترسب النحاس
(د) التسخين و CMP (التلميع الكيميائي الميكانيكي) لإزالة طبقة النحاس السطحية
(هـ) طلاء PVD والتصوير الضوئي
(و) تصنيع RDL (طبقة إعادة التوزيع)
(ز) قطع المقاومة الضوئية وإجراء حفر Cu/Ti
(هـ) طبقة إضافة الشكل (طبقة الديليكتريك)
خطوات مفصلة:
تبدأ عملية تصنيع TGV (من خلال الزجاج عبر) مع فحص المواد الواردة، تليها من خلال تشكيل من خلال طرق بما في ذلك الرمل، الحفر بالموجات فوق الصوتية، الحفر الرطب،حفر الأيونات العميق التفاعلي (DRIE)، الحفر الحساس للضوء ، الحفر بالليزر ، الحفر العميق المحفز بالليزر ، والحفر بالفراغ المركز ، والذي يخضع لاحقًا للتفتيش والتنظيف.
يتم تصنيع القنوات من خلال الزجاج باستخدام تكنولوجيا حفر البلازما.
بعد تشكيل الثقب ، من الضروري فحص الثقب ، مثل معدل الثقب ، المواد الغريبة ، عيوب اللوحة ، إلخ.
من خلال النزاهة ️ اكتشاف التسريبات والقنوات غير الموصلة. مواصفات حجم الفتحة: 10/30/50/70/100 μm ؛ يجب أن يتجاوز القطر الخارجي القطر الداخلي بنسبة ≥ 60 ٪. معايير العيب: المساحة.الدائرة (مراقبة ≥ 95%)؛ تسامح القطر (± 5 μm).
المواد الغريبة في القنوات تحقق من الاستمرارية واكتشاف المخلفات (حطام الزجاج، ألياف الكربون، الملصقات، الغبار).
عيوب اللوحة الشقوق، عيوب الحفر (الحفر) ، الملوثات، الخدوش.
مرة أخرى ، يصل الغسيل الكهربائي من الأسفل إلى الأعلى إلى ملء سلس لـ TGV.
وأخيراً ، التماسك المؤقت ، طحن الخلفي ، التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP) لتعريض النحاس ، وإزالة التماسك ، وتشكيل لوحة نقل مملوءة بالمعدن عبر زجاج من خلال تكنولوجيا العملية (TGV).خلال العملية، وعمليات أشباه الموصلات مثل التنظيف والاختبار مطلوبة أيضا.
(أ) حفر LIDE
(ب) حشوة الكهرباء
(ج) CMP
(د) تشكيل RDL في الجانب الأمامي
(هـ) طبقة البوليميد
(و) الاصطدام
(ز) الالتزام المؤقت
(ح) طحن الجانب الخلفي وتشكيل RDL
(أ) رقائق حاملة غير مقيدة
التطبيقات
الاتصالات عالية التردد (حزمة رقاقة 5G / 6G)
رقائق الحوسبة عالية الأداء والذكاء الاصطناعي
وحدات ليدار مستقلة، رادار السيارات، وحدات تحكم المركبات.
الأجهزة القابلة لزرعها (على سبيل المثال، المسبارات العصبية) ، رقائق بيولوجية عالية الصلبة.
أسئلة وأجوبة
س1: ما هو زجاج TGV؟
A1:زجاج TGV: رصيف زجاجي مع قنوات موصلة عمودية لربط رقائق عالية الكثافة ، مناسبة للتعبئة عالية التردد والثلاثية الأبعاد.
س2:ما هو الفرق بين الركيزة الزجاجية وركيزة السيليكون؟
A2:
- المواد: الزجاج عازل (خسارة كهربائية منخفضة) ، السيليكون هو أشباه الموصلات.
- أداء التردد العالي: فقدان إشارة الزجاج أقل من السيليكون 10-100 مرة.
- التكلفة: تكلفة القالب الزجاجي حوالي 1/8 من السيليكون.
- TGV (من خلال الزجاج): قناة عمودية معدنية تتشكل على رصيف زجاجي ، دون الحاجة إلى طبقة عازلة إضافية ، وعملية أبسط من خلال السيليكون (TSV).
السؤال الثالث: لماذا تختار قوالب القلب الزجاجي؟
A3:
- تفوق الترددات العالية: يقلل من Dk / Df من تشويه الإشارة في نطاقات 5G / 6G mmWave (24-300 GHz).
- كفاءة التكلفة: تخفض معالجة الألواح ذات المساحة الكبيرة (على سبيل المثال، ألواح الزجاج من الجينر 8.5) التكاليف بنسبة 70٪ مقابل رقائق السيليكون.
- الاستقرار الحراري والميكانيكي:الإنحناء القريب من الصفر حتى عند سمك رقيق للغاية (< 100 ميكرو مترا) ، ويمكن لـ CTE أن تقلل من الإجهاد الحراري في الأنظمة متعددة المواد.
- الشفافية البصرية: تمكن من التكامل الكهربائي / البصري الهجين (على سبيل المثال ، LiDAR ، شاشات AR).
- قابلية التوسع: يدعم التعبئة على مستوى اللوحة (PLP) للإنتاج الضخم للـ 3D ICs المتقدمة.
منتجات ذات صلة