 |
شوك فراغ SiC صلب - لوحة حامل فائقة التسطيح لمعالجة الرقائق الرقيقة
تفاصيل المنتج:
| مكان المنشأ: | الصين |
| اسم العلامة التجارية: | ZMSH |
| Model Number: | ultra-flat ceramic wafer vacuum chuck |
شروط الدفع والشحن:
| Minimum Order Quantity: | 2 |
|---|---|
| Packaging Details: | Custom Cartons |
| Delivery Time: | 5-8 work days |
| شروط الدفع: | T/T |
| Supply Ability: | by case |
|
معلومات تفصيلية |
|||
| Crystal Structure: | FCC β phase | Density: | 3.21g/cm ³ |
|---|---|---|---|
| Hardness: | 2500 | Grain Size: | 2~10μm |
| Chemical Purity: | 99.99995% | Heat Capacity: | 640J·kg-1 ·K-1 |
| إبراز: | لوحة حامل SiC مقاومة للتآكل,لوحة حامل SiC موصلة للحرارة,لوحة حامل SiC لـ MOCVD,Thermal Conductivity SiC Carrier Plate,MOCVD SiC Carrier Plate |
||
منتوج وصف
إدخال لوحة حاملة سي سي
يتم تصنيع الدوال الفراغية السيراميكية السطحية الفائقة بطلاء كربيد السيليكون (SiC) عالي النقاء ، مصممة لعمليات معالجة السطحات المتقدمة.محسّنة للاستخدام في معدات نمو MOCVD والشرائح شبه الموصلة المركبة، يقدم مقاومة ممتازة للحرارة والتآكل ، مما يضمن استقرار استثنائي في بيئات المعالجة القاسية.هذا يسهم في تحسين إدارة الإنتاج والموثوقية في تصنيع رقائق أشباه الموصلات.
يساعد تكوينه منخفضة الاتصال بالأسطح على تقليل تلوث الجسيمات الخلفية ، مما يجعله مثاليًا لتطبيقات رقائق حساسة للغاية حيث النظافة والدقة أمران حاسمان.
يجمع هذا الحل بين الأداء العالي وكفاءة التكلفة، ودعم بيئات التصنيع المطالبة بأداء موثوق ودائم.
مبدأ العملمن صفيحة حاملة SiC
في العمليات عالية درجة الحرارة ، تعمل لوحة حامل SiC كدعم لنقل الألواح أو مواد الألواح الرقيقة. توفيرها الحراري العالي يضمن توزيع الحرارة المتساوي ،تحسين استقرار العملية وتوحدهاوبالإضافة إلى ذلك، بسبب صلابتها وخصوبة الكيميائية، واللوح يحافظ على سلامة هيكلية حتى في البيئات التآكل، وضمان نقاء المنتج وسلامة المعدات.
معايير شاك الفراغ الوافر
| المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC | ||
| خصائص SiC-CVD | ||
| هيكل الكريستال | مرحلة FCC β | |
| الكثافة | غرام/سم 3 | 3.21 |
| صلابة | صلابة فيكرز | 2500 |
| حجم الحبوب | μm | 2 ~ 10 |
| النقاء الكيميائي | % | 99.99995 |
| القدرة الحرارية | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| درجة حرارة الترقية | °C | 2700 |
| قوة الحلق | MPa (RT 4 نقطة) | 415 |
| وحدة (يونغ) | Gpa (4 نقطة ثني، 1300 درجة مئوية) | 430 |
| التوسع الحراري (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| التوصيل الحراري | (W/mK) | 300 |
خصائص الصفيحة الفراغية
● القدرات السطحية للغاية
● طلاء المرآة
● خفيفة الوزن
● صلابة عالية
● انخفاض الحرارة
● قطر Φ 300 ملم وما فوق
● المقاومة الشديدة للارتداء
تطبيقات الصفارة الفراغية المسامة
في صناعات أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية ، غالباً ما يتم وضع رقائق رقيقة للغاية على أدوات الفراغ من كربيد السيليكون المسامة (SiC).يتم تطبيق ضغط سلبي للحفاظ على الوافر بشكل آمن في مكانه دون مشابك ميكانيكيةهذا يتيح معالجة دقيقة ومستقرة خلال المراحل التالية:
-
تركيب الشمع
-
التخفيف الخلفي (طحن أو طحن)
-
إزالة الشمع
-
التنظيف
-
القص / الشحن
يضمن استخدام شاك فراغ SiC ذات النقاء العالي و المسام الاستقرار الحراري والكيميائي الممتاز طوال هذه العمليات ، مع تقليل التلوث إلى الحد الأدنى والحفاظ على مسطحة الوافر.قوة ميكانيكية ممتازة والقدرة على توصيل الحرارة أيضا تقلل من خطر كسر رقائق أثناء المعالجة، وخاصة بالنسبة للرواتب الهشة أو الرقيقة للغاية مثل GaAs ، InP ، أو SiC.
الأسئلة الشائعة (الأسئلة الشائعة)
السؤال 1: ما هو الغرض الرئيسي من شاك فراغ SiC مسام؟
أ:انها تستخدم لاحتفظ بأمان بالوافلات الرقيقة أو الهشةخلال مراحل المعالجة الحرجة مثل تركيب الشمع والترقق والتنظيف والقطع.يقدم امتصاص الفراغ من خلال مادة SiC مسامية عقدة متساوية ومستقرة دون إضرار سطح الوافر.
س2: ما هي المواد التي يمكن معالجتها باستخدام شاك فراغ SiC؟
أ:يدعم مجموعة واسعة من مواد أشباه الموصلات، بما في ذلك:
-
السيليكون (Si)
-
غاليوم آرسنيد (GaAs)
-
فوسفيد الانديوم (InP)
-
كربيد السيليكون (SiC)
-
الزهور
هذه هي عادةرقائق رقيقة أو هشةالتي تتطلب معالجة مستقرة أثناء المعالجة الخلفية.
السؤال 3: ما هي الميزة في استخدام سيكس مسامية على المواد المعدنية أو السيراميكية؟
أ:يقدم SiC المسام العديد من المزايا:
-
Eالتوصيل الحراري ممتازيمنع تراكم الحرارة أثناء المعالجة
-
قوة ميكانيكية عاليةيقلل من خطر التشوه
-
الحصانة الكيميائيةمتوافق مع مواد التنظيف الكيميائية القوية
-
إنتاج الجسيمات المنخفضةمناسبة لبيئات الغرف النظيفة
-
توزيع الفراغ المستقر√ امتصاص موحد عبر سطح الوافر
منتجات ذات صلة
12 بوصة سيفي كربيد السيليكون 300 ملم سيفي كربيد السيليكون