|
| اسم العلامة التجارية: | ZMSH |
| رقم الطراز: | فراغ رقاقة السيراميك الفائق الفائق |
| الـ MOQ: | 2 |
| تفاصيل التعبئة: | كرتون مخصص |
| شروط الدفع: | T/T |
صُنع حامل رقاقة السيراميك فائق التسطيح الفراغي من طلاء كربيد السيليكون (SiC) عالي النقاء، وهو مصمم لعمليات مناولة الرقائق المتقدمة. تم تحسينه للاستخدام في معدات نمو أشباه الموصلات المركبة و MOCVD، ويوفر مقاومة ممتازة للحرارة والتآكل، مما يضمن استقرارًا استثنائيًا في بيئات المعالجة القاسية. يساهم هذا في تحسين إدارة الإنتاجية والموثوقية في تصنيع رقائق أشباه الموصلات.
يساعد تكوين التلامس السطحي المنخفض على تقليل تلوث الجسيمات الخلفية، مما يجعله مثاليًا لتطبيقات الرقائق شديدة الحساسية حيث تكون النظافة والدقة أمرًا بالغ الأهمية.
يجمع هذا الحل بين الأداء العالي وفعالية التكلفة، ويدعم بيئات التصنيع الصعبة بأداء موثوق به وطويل الأمد.
مبدأ العمل منحامل رقاقة السيليكون كاربيد الفراغي
في عمليات درجات الحرارة المرتفعة، تعمل صفيحة حامل SiC كدعم لحمل الرقائق أو مواد الأغشية الرقيقة. تضمن الموصلية الحرارية العالية توزيعًا حراريًا موحدًا، مما يحسن استقرار العملية وتوحيدها. بالإضافة إلى ذلك، نظرًا لصلابته وخموله الكيميائي، تحافظ اللوحة على السلامة الهيكلية حتى في البيئات المسببة للتآكل، مما يضمن نقاء المنتج وسلامة المعدات.
معلمات حامل رقاقة الفراغ
| المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC | ||
| خصائص SiC-CVD | ||
| البنية البلورية | مرحلة FCC β | |
| الكثافة | جم/سم ³ | 3.21 |
| الصلابة | صلابة فيكرز | 2500 |
| حجم الحبيبات | μم | 2~10 |
| النقاء الكيميائي | % | 99.99995 |
| السعة الحرارية | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| درجة حرارة التسامي | ℃ | 2700 |
| قوة الانحناء | ميجا باسكال (RT 4 نقاط) | 415 |
| معامل يونغ | جيجا باسكال (انحناء 4 نقاط، 1300℃) | 430 |
| التمدد الحراري (C.T.E) | 10-6K-1 | 4.5 |
| التوصيل الحراري | (W/mK) | 300 |
ميزات حامل رقاقة الفراغ
● قدرات فائقة التسطيح
● تلميع المرآة
● خفة وزن استثنائية
● صلابة عالية
● تمدد حراري منخفض
● Φ 300 مم قطر وأكثر
● مقاومة شديدة للتآكل
في صناعات أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية، غالبًا ما توضع الرقائق فائقة الرقة على حوامل فراغ كربيد السيليكون (SiC) المسامية. عن طريق الاتصال بمولد فراغ، يتم تطبيق ضغط سلبي لتثبيت الرقاقة بشكل آمن في مكانها دون مشابك ميكانيكية. يتيح هذا المعالجة الدقيقة والمستقرة خلال المراحل التالية:
تركيب الشمع
التخفيف الخلفي (الطحن أو التشذيب)
إزالة الشمع
التنظيف
التقطيع / النشر
يضمن استخدام حامل فراغ SiC مسامي عالي النقاء ثباتًا حراريًا وكيميائيًا ممتازًا خلال هذه العمليات، مع تقليل التلوث والحفاظ على تسطح الرقاقة. تقلل قوته الميكانيكية الفائقة والتوصيل الحراري أيضًا من خطر كسر الرقاقة أثناء المعالجة، خاصة بالنسبة للركائز الهشة أو فائقة الرقة مثل GaAs أو InP أو SiC.
س1: ما هو الغرض الرئيسي من حامل فراغ SiC المسامي؟
أ: يتم استخدامه لـ تثبيت الرقائق الرقيقة أو الهشة بشكل آمن أثناء خطوات المعالجة الحرجة مثل تركيب الشمع والتخفيف والتنظيف والتقطيع. يوفر الشفط الفراغي من خلال مادة SiC المسامية تثبيتًا موحدًا ومستقرًا دون إتلاف سطح الرقاقة.
س2: ما هي المواد التي يمكن معالجتها باستخدام حامل فراغ SiC؟
أ: يدعم مجموعة واسعة من مواد أشباه الموصلات، بما في ذلك:
السيليكون (Si)
زرنيخيد الغاليوم (GaAs)
فوسفيد الإنديوم (InP)
كربيد السيليكون (SiC)
الياقوت
هذه عادةً ما تكون رقائق رقيقة أو هشة تتطلب معالجة مستقرة أثناء المعالجة الخلفية.
س3: ما هي ميزة استخدام SiC المسامي على الحوامل المعدنية أو الخزفية؟
أ: يوفر SiC المسامي العديد من المزايا:
Eتوصيل حراري ممتاز – يمنع تراكم الحرارة أثناء المعالجة
قوة ميكانيكية عالية – يقلل من خطر التشوه
خمول كيميائي – متوافق مع المواد الكيميائية التنظيفية القوية
توليد جسيمات منخفض – مناسب لبيئات الغرف النظيفة
توزيع فراغ مستقر – شفط موحد عبر سطح الرقاقة
المنتجات ذات الصلة
رقاقة SiC مقاس 12 بوصة رقاقة كربيد السيليكون 300 مم درجة وهمية موصلة من النوع N درجة بحثية
4H/6H P-Type Sic Wafer 4inch 6inch Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° Toward P-type Doping
