|
| اسم العلامة التجارية: | ZMSH |
| رقم الطراز: | نهاية المستجيب |
| الـ MOQ: | 1 |
| السعر: | by case |
| تفاصيل التعبئة: | كرتون مخصص |
| شروط الدفع: | T/T |
يستخدم ذراع شوكة السيراميك SiC, المعروف أيضًا باسم أداة نهاية السيراميك, هو مكون روبوتي عالي الأداء مصمم لتطبيقات مناولة الرقائق فائقة النظافة وعالية الدقة في تصنيع أشباه الموصلات. مصنوع من سيراميك كربيد السيليكون (SiC) المتطور، توفر أداة النهاية هذه قوة ميكانيكية فائقة، وتمدد حراري منخفض، ومقاومة كيميائية ممتازة - مما يجعلها مثالية لبيئات العمل الصعبة مثل غرف التفريغ، ومناطق درجات الحرارة المرتفعة، وأجواء الغازات المسببة للتآكل.
على عكس أدوات النهاية المعدنية أو الكوارتز التقليدية، يضمن ذراع شوكة السيراميك SiC الحد الأدنى من توليد الجسيمات والتشوه الحراري، مما يوفر موثوقية ودقة محاذاة على المدى الطويل لنقل الرقائق وتحديد المواقع وعمليات التحميل/التفريغ.
يستخدم أداة نهاية السيراميك SiC باستخدام كربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل (RB-SiC) أو كربيد السيليكون المتكلس بدون ضغط (SSiC). تتضمن عملية الإنتاج عادةً:
معالجة المسحوق: يتم خلط مسحوق SiC عالي النقاء مع المواد الرابطة والمواد المضافة.
القولبة/التشكيل: استخدام تقنيات مثل الضغط المتساوي على البارد (CIP) أو قولبة الحقن لتشكيل أشكال هندسية معقدة، بما في ذلك أذرع الشوكة الرقيقة أو الهياكل المسننة.
التلبيد: تضمن المعالجة الحرارية في درجات حرارة تزيد عن 2000 درجة مئوية كثافة عالية وقوة وتوحيدًا مجهريًا.
التصنيع الدقيق: تُستخدم عمليات الطحن باستخدام الحاسب الآلي والتلميع الماسي لتحقيق تفاوتات الأبعاد وصولاً إلى الميكرونات والأسطح فائقة الاستواء، مما يقلل من تلف الرقائق.
الفحص النهائي: يضمن الاختبار غير المدمر (NDT) والفحوصات الأبعاد واختبار خشونة السطح أن كل أداة نهاية سيراميك تفي بمعايير درجة أشباه الموصلات.
تضمن هذه العملية بأكملها أن أداة النهاية تحتفظ بصلابة ممتازة وخصائص خفيفة الوزن وعدم التفاعل في بيئات العمل الصعبة.
يستخدم ذراع شوكة السيراميك / أداة النهاية SiC على نطاق واسع في مجالات أشباه الموصلات، والخلايا الكهروضوئية، والإلكترونيات الدقيقة. تشمل التطبيقات الرئيسية:
أنظمة نقل الرقائق: للتعامل مع رقائق 6 بوصات إلى 12 بوصة أثناء تصنيع الدوائر المتكاملة.
الأذرع الروبوتية في غرف التفريغ: لالتقاط ووضعها في عمليات CVD وALD والحفر الجاف.
منافذ تحميل FOUP/FOSB: التكامل في الأنظمة الروبوتية لنقل الرقائق بين الحاملات ووحدات المعالجة.
أتمتة الغرف النظيفة: في خطوط إنتاج أشباه الموصلات عالية الإنتاجية حيث تكون المناولة فائقة النظافة ضرورية.
المعالجة بالليزر أو التلدين: حيث تكون مقاومة درجات الحرارة المرتفعة وعدم التلوث أمرًا بالغ الأهمية.
تضمن وظيفة أداة النهاية الإمساك بالرقائق شبه الموصلة بلطف وثبات دون إجهاد ميكانيكي أو تلوث.
نقاء عالي: مقاومة ممتازة للتلوث.
الاستقرار الحراري: يحافظ على الصلابة والشكل في ظل الدورات الحرارية.
تمدد حراري منخفض: يمنع التشوه الحراري، مما يحسن محاذاة الرقائق.
المقاومة الكيميائية: خامل للغازات المسببة للتآكل وبيئات البلازما.
القوة الميكانيكية: مقاوم للكسر والتشقق والالتواء تحت الحمل الميكانيكي.
استواء السطح: تقلل أسطح التلامس شديدة النعومة من خطر خدش الرقائق.
|
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
|
خصائص SiC-CVD |
||
|
بنية البلورة |
طور FCC β |
|
|
الكثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
|
الصلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
|
حجم الحبيبات |
μm |
2~10 |
|
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
|
السعة الحرارية |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
|
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
|
قوة الانحناء |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
|
معامل يونغ |
Gpa (انحناء 4 نقاط، 1300 درجة مئوية) |
430 |
|
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
التوصيل الحراري |
(W/mK) |
300 |
س1: لماذا تختار أداة نهاية سيراميك SiC على الكوارتز أو الألومنيوم؟
ج1: توفر سيراميك SiC مقاومة حرارية فائقة وقوة ميكانيكية وعمر خدمة أطول مقارنة بالكوارتز أو المواد المعدنية، خاصة في بيئات البلازما القاسية أو درجات الحرارة المرتفعة.
س2: هل يمكن تخصيص أذرع الشوكة الخزفية لتناسب الروبوت أو حجم الرقاقة الخاص بي؟
ج2: نعم. نحن نقدم التخصيص الكامل لهندسة ذراع الشوكة وأبعاد الفتحات وواجهات التركيب لتتناسب مع نظام الروبوت الخاص بك ومواصفات الرقاقة.
س3: هل أدوات النهاية هذه آمنة للاستخدام في أنظمة التفريغ أو البلازما؟
ج3: بالتأكيد. تتوافق سيراميك SiC تمامًا مع التفريغ فائق الارتفاع (UHV) والحفر بالبلازما والحفر الأيوني التفاعلي (RIE) نظرًا لخمولها الكيميائي وانخفاض انبعاث الغازات.
س4: ما مدى متانة ذراع شوكة السيراميك SiC في ظل الاستخدام المتكرر؟
ج4: تسمح صلابة SiC العالية وصلابتها بتحمل الدورات الحرارية المتكررة والتعامل الميكانيكي دون تدهور، مما يجعلها مثالية لبيئات الإنتاج المستمر.
س5: هل تقدم اختبارًا أو شهادة لكل أداة نهاية؟
ج5: نعم، تخضع جميع المنتجات لفحص الأبعاد الصارم واختبار الاستواء والتحقق من المواد. يمكن توفير شهادات المطابقة (CoC) وتقارير الاختبار عند الطلب.
المنتجات ذات الصلة
رقاقة SiC مقاس 12 بوصة رقاقة كربيد السيليكون 300 مم درجة وهمية موصلة من النوع N درجة بحثية
تتخصص ZMSH في التطوير والتصنيع والمبيعات عالية التقنية للزجاج البصري الخاص والمواد البلورية الجديدة. تخدم منتجاتنا الإلكترونيات البصرية والإلكترونيات الاستهلاكية والجيش. نحن نقدم مكونات بصرية من الياقوت، وأغطية عدسات الهاتف المحمول، والسيراميك، وLT، وكربيد السيليكون SIC، والكوارتز، ورقائق بلورات أشباه الموصلات. بفضل الخبرة الماهرة والمعدات المتطورة، نتفوق في معالجة المنتجات غير القياسية، بهدف أن نكون مؤسسة تكنولوجية عالية للمواد الإلكترونية الضوئية الرائدة.
فيديو
