آلة تلميع الحزمة الأيونية
دقة على المستوى الذري · معالجة بدون تلامس · أسطح فائقة النعومة

نظرة عامة على منتج آلة تلميع الحزمة الأيونية
 

تعمل آلة التشكيل/التلميع بالحزمة الأيونية CNC على مبدأ الرش الأيوني. في ظل ظروف التفريغ، يولد مصدر الأيونات حزمة بلازما، والتي يتم تسريعها إلى حزمة أيونية تقصف سطح قطعة العمل لإزالة المواد على المستوى الذري، مما يتيح تصنيعًا فائق الدقة للمكونات البصرية.

توفر هذه التقنية معالجة بدون تلامس, خالية من الإجهاد الميكانيكي أو التلف تحت السطحي، وهي مثالية للبصريات عالية الدقة في علم الفلك والفضاء وأشباه الموصلات والبحث العلمي.

مبدأ العمل لآلة تلميع الحزمة الأيونية

• توليد الأيونات – يتم إدخال الغاز الخامل (مثل الأرجون) في غرفة التفريغ وتأيينه بواسطة مجال تفريغ كهربائي.

• تسريع الأيونات وتشكيل الحزمة – يتم تسريع الأيونات إلى مئات أو آلاف الإلكترون فولت (eV) وتشكيلها في بقعة حزمة مستقرة عن طريق بصريات التركيز.

• إزالة المواد – تقوم الحزمة الأيونية فعليًا برش ذرات السطح دون تفاعلات كيميائية.

• قياس الخطأ وتخطيط المسار – يتم قياس أخطاء شكل السطح عبر التداخل، ثم يتم استخدام وظائف الإزالة لحساب أوقات بقاء الحزمة وتوليد مسارات المعالجة.

• تصحيح الحلقة المغلقة – تتكرر دورات المعالجة والقياس حتى يتم تحقيق أهداف RMS/PV.

ميزات المعدات لآلة تلميع الحزمة الأيونية

• معالجة بدون تلامس – قادرة على التعامل مع جميع أشكال السطح

• معدل إزالة ثابت – دقة تصحيح الشكل دون النانومتر

• لا يوجد تلف تحت السطح – يحافظ على السلامة البصرية

• اتساق عالي – تقلبات طفيفة عبر المواد ذات الصلابة المختلفة

• تصحيح التردد المنخفض/المتوسط – لا يوجد توليد أخطاء متوسطة وعالية التردد

• تكلفة صيانة منخفضة – تشغيل مستمر على المدى الطويل مع الحد الأدنى من التعطل

قدرة معالجة المعدات لآلة تلميع الحزمة الأيونية

الأسطح المتاحة:

• المكونات البصرية البسيطة: المستوى، الكرة، المنشور

• المكونات البصرية المعقدة: أسطح غير كروية متماثلة/غير متماثلة، سطح أسطواني خارج المحور

• المكونات البصرية الخاصة: بصريات فائقة الرقة، بصريات شرائحية، بصريات نصف كروية، بصريات متوافقة، ألواح طور، أسطح حرة الشكل، أشكال مخصصة أخرى

المواد المتاحة:

• الزجاج البصري الشائع: الكوارتز، البلوري الدقيق، K9، إلخ.

• البصريات تحت الحمراء: السيليكون، الجرمانيوم، إلخ.

• المعادن: الألومنيوم، الفولاذ المقاوم للصدأ، سبائك التيتانيوم، إلخ.

• المواد البلورية: YAG، كربيد السيليكون أحادي البلورة، إلخ.

• مواد صلبة/هشة أخرى: كربيد السيليكون، إلخ.

جودة السطح / الدقة:

• PV < 10 نانومتر

• RMS ≤ 0.5 نانومتر

مزايا المنتج لآلة تلميع الحزمة الأيونية

• دقة الإزالة على المستوى الذري – تمكن من الحصول على أسطح فائقة النعومة لأنظمة بصرية متطلبة

• توافق الأشكال المتنوع – من البصريات المسطحة إلى الأشكال الحرة المعقدة

• القدرة على التكيف مع المواد على نطاق واسع – من البلورات الدقيقة إلى السيراميك والمعادن الصلبة

• قدرة فتحة كبيرة – تعالج البصريات حتى Φ4000 مم

• تشغيل مستقر ممتد – يعمل لمدة 3–5 أسابيع دون صيانة غرفة التفريغ

نماذج نموذجية لآلة تلميع الحزمة الأيونية

• IBF350 / IBF750 / IBF1000 / IBF1600 / IBF2000 / IBF4000

• محاور الحركة: 3 محاور / 5 محاور

• أقصى حجم لقطعة العمل: حتى Φ4000 مم

الحالة 1 – مرآة مسطحة قياسية

• قطعة العمل: D630 مم كوارتز مسطح

• النتيجة: PV 46.4 نانومتر؛ RMS 4.63 نانومتر

​​

الحالة 2 – مرآة عاكسة للأشعة السينية

• قطعة العمل: 150 × 30 مم سيليكون مسطح

• النتيجة: PV 8.3 نانومتر؛ RMS 0.379 نانومتر؛ المنحدر 0.13 µراد

​

الحالة 3 – مرآة خارج المحور

• قطعة العمل: D326 مم مرآة أرضية خارج المحور

• النتيجة: PV 35.9 نانومتر؛ RMS 3.9 نانومتر

مجالات التطبيق لآلة تلميع الحزمة الأيونية

• البصريات الفلكية – مرايا أولية/ثانوية لتلسكوب كبير

• بصريات الفضاء – الاستشعار عن بعد عبر الأقمار الصناعية، التصوير في الفضاء السحيق

• أنظمة الليزر عالية الطاقة – بصريات ICF، تشكيل الحزمة

• بصريات أشباه الموصلات – عدسات ومرآيا الطباعة الحجرية

• الأجهزة العلمية – مرايا الأشعة السينية/النيوترونات، مكونات معيار القياس

المنتج ذو الصلة

آلة نقش ليزر الألياف المدمجة خالية من الصيانة النظيفة لورش العمل والشركات الصغيرة

آلة قطع الأسلاك الماسية

معلومات عنا

تتخصص ZMSH في التطوير والإنتاج والمبيعات عالية التقنية للزجاج البصري الخاص والمواد البلورية الجديدة. تخدم منتجاتنا الإلكترونيات البصرية والإلكترونيات الاستهلاكية والجيش. نحن نقدم مكونات بصرية من الياقوت، وأغطية عدسات الهاتف المحمول، والسيراميك، و LT، وكربيد السيليكون SIC، والكوارتز، وشرائح بلورات أشباه الموصلات. بفضل الخبرة الماهرة والمعدات المتطورة، نتفوق في معالجة المنتجات غير القياسية، بهدف أن نكون مؤسسة ذات تقنية عالية رائدة في مجال المواد الإلكترونية الضوئية.