آلة تلميع شعاع الأيون
الدقة على المستوى الذري · المعالجة بدون اتصال · الأسطح الناعمة للغاية

لمحة عامة عن المنتج من آلة طلاء شعاع الأيون
 

تعمل آلة CNC لتحديد شعاع الأيونات / الملمع على مبدأ:رذاذ الأيوناتفي ظل ظروف فراغ، مصدر الأيونات يولد شعاع بلازما، والتي يتم تسريعها إلى شعاع الأيونات التي قصف سطح قطعة العمل لإزالة المواد على المستوى الذري،تتيح تصنيع مكونات بصرية دقيقة للغاية.

هذه التكنولوجيا توفرالمعالجة بدون اتصال، خالية من الإجهاد الميكانيكي أو تلف تحت السطح ، وهي مثالية للنورات عالية الدقة في علم الفلك والفضاء الجوي وشرائح الموصلات والبحوث العلمية.

مبدأ العملمن آلة تلميع شعاع الأيونات

• توليد الأيوناتيتم إدخال غاز خامل (على سبيل المثال، الأرجون) إلى غرفة الفراغ وتأين بواسطة حقل تفريغ كهربائي.

• تسريع الأيونات وتشكيل الشعاعيتم تسريع الأيونات إلى مئات أو آلاف الفولت الإلكتروني (eV) ويتم تشكيلها إلى بقعة شعاع مستقرة عن طريق تركيز البصريات.

• إزالة الموادشعاع الايون يطعن ذرات السطح بدون تفاعلات كيميائية

• قياس الأخطاء وتخطيط المساريتم قياس أخطاء شكل السطح عن طريق قياس التداخل، ثم يتم استخدام وظائف الإزالة لحساب أوقات بقاء الشعاع وتوليد مسارات المعالجة.

• تصحيح الحلقة المغلقةتكرار دورات المعالجة والقياس حتى يتم تحقيق أهداف RMS/PV.

خصائص المعداتمن آلة تلميع شعاع الأيونات

• المعالجة بدون اتصالقادرة على التعامل مع جميع أشكال الأسطح

• معدل إزالة ثابتدقة تصحيح الرقم تحت نانومتر

• لا يوجد ضرر تحت السطحيحافظ على سلامة البصرية

• اتساق عال- التقلبات الدقيقة بين المواد ذات القسوة المختلفة

• تصحيح التردد المنخفض/المتوسطلا يوجد توليد أخطاء متوسطة عالية التردد

• تكلفة صيانة منخفضة- تشغيل مستمر طويل الأمد مع الحد الأدنى من فترات التوقف

قدرة معالجة المعداتمن آلة تلميع شعاع الأيونات

الأسطح المتاحة:

• المكونات البصرية البسيطة: الطائرة، الكرة، المنظار

• المكونات البصرية المعقدة: الغلاف المتماثل / غير المتماثل ، الغلاف خارج المحور ، السطح الأسطواني

• المكونات البصرية الخاصة: البصريات الرقيقة للغاية ، البصريات الشريحة ، البصريات نصف الكرة ، البصريات المتوافقة ، لوحات المرحلة ، الأسطح الحرة ، الأشكال الأخرى المخصصة

المواد المتاحة:

• الزجاج البصري الشائع: الكوارتز، الكريستال الصغير، K9، الخ

• البصريات تحت الحمراء: السيليكون، الجيرمانيوم، الخ

• المعادن: الألومنيوم، الفولاذ المقاوم للصدأ، سبيكة التيتانيوم، الخ

• المواد البلورية: YAG، كربيد السيليكون أحادي البلور، الخ

• مواد أخرى صلبة / هشة: كربيد السيليكون ، الخ

جودة السطح / الدقة:

• PV < 10 nm

• RMS ≤ 0.5 نانومتر

مزايا المنتجمن آلة تلميع شعاع الأيونات

• دقة الإزالة على المستوى الذرييسمح بمسطحات ناعمة للغاية لأنظمة بصرية متطلبة

• التوافق بين الأشكال المتعددةمن البصريات المسطحة إلى الأشكال الحرة المعقدة

• قابلية تكييف المواد على نطاق واسعمن بلورات الدقة إلى السيراميك الصلب والمعادن

• قدرة فتحة كبيرةعادةً ما تكون أجهزة الكمبيوتر المستخدمة في هذه العملية

• التشغيل المستقر الممتديدير 3~5 أسابيع بدون صيانة غرفة الفراغ

نماذج نموذجية من آلة طلاء شعاع الأيون

• IBF350 / IBF750 / IBF1000 / IBF1600 / IBF2000 / IBF4000

• محاور الحركة: محور 3 / محور 5

• الحجم الأقصى للقطعة: يصل إلى 4000 مم

الحالة 1 ‬ المرآة المسطحة القياسية

• قطعة العمل: D630 ملم الكوارتز المسطحة

• النتيجة: PV 46.4 nm؛ RMS 4.63 nm

- نعم

الحالة الثانية: المرآة العاكسة للأشعة السينية

• قطعة العمل: 150 × 30 ملم السيليكون المسطح

• النتيجة: PV 8.3 nm؛ RMS 0.379 nm؛ المنحدر 0.13 μrad

- نعم

الحالة 3 ‬ مرآة خارج المحور

• قطعة العمل: D326 ملم مرآة الأرض خارج المحور

• النتيجة: PV 35.9 nm؛ RMS 3.9 nm

مجالات تطبيق آلة طلاء شعاع الأيون

• البصريات الفلكيةمرآة التلسكوب الكبيرة

• البصريات الفضائية- الاستشعار عن بعد عبر الأقمار الصناعية، تصوير الفضاء العميق

• أنظمة الليزر عالية الطاقةأوبتيك ICF، تشكيل الشعاع

• نظرية أشباه الموصلاتعدسات ومرآة التصوير الحجري

• أدوات علميةمرآة الأشعة السينية/النيترونية، مكونات قياسية للقياس